检测项目

1. 平面度误差：采用激光干涉法测量全盘面波动值（≤2μm）

2. 表面粗糙度：轮廓仪测定Ra值（0.01-0.1μm）及Rz值（≤0.5μm）

3. 材料硬度：肖氏硬度计D标尺测试（60-90HD）

4. 耐磨性能：Taber磨耗试验机测定100转磨耗量（≤0.05g）

5. 动平衡等级：高速旋转测试残余不平衡量（G1.0级）

检测范围

1. 聚氨酯抛光盘：适用于光学玻璃与半导体晶圆加工

2. 金刚石抛光盘：硬质合金及陶瓷材料超精加工

3. 氧化铈陶瓷盘：LCD玻璃基板精密抛光

4. 树脂基复合盘：汽车漆面修复与金属模具抛光

5. 金属粘结盘：蓝宝石衬底与碳化硅晶片加工

检测方法

1. ISO 12181-1:2016几何产品规范(GPS)平面度测量

2. GB/T 1031-2009表面粗糙度参数及其数值

3. ASTM D2240-15橡胶材料硬度测试规程

4. GB/T 5478-2008塑料磨耗性能测定方法

5. ISO 1940-1:2018机械振动刚性转子平衡要求

检测设备

1. Mitutoyo CRYSTA-Apex S系列三坐标测量机（平面度分析）

2. Taylor Hobson Surtronic S-100表面轮廓仪（粗糙度测量）

3. Wilson 402MVD全自动显微硬度计（材料硬度测试）

4. Taber 5135型耐磨试验机（磨耗量定量分析）

5. SCHENCK H1D动平衡机（最高转速12000rpm）

6. Olympus DSX1000数码显微镜（微观结构观测）

7. Instron 5967万能材料试验机（抗拉强度测试）

8. Malvern Mastersizer 3000激光粒度仪（磨料分布检测）

9. PerkinElmer DSC 4000差示扫描量热仪（热稳定性分析）

10. Zeiss COMET L3D 2M三维扫描系统（形貌重建）