检测项目

1. 成分分析：测定锆、钡、铝等金属元素含量（精度±0.01wt%）

2. 气体吸附量测试：H₂/N₂/CO₂吸附容量（压力范围10⁻⁴~10² Pa）

3. 比表面积测定：BET法测量（精度±0.1 m²/g）

4. 热稳定性试验：高温暴露（400-800℃/2-24h）后性能保持率

5. 放气率检测：单位面积放气量（测量下限1×10⁻¹² Pa·m³/s）

检测范围

1. 锆铝系合金吸气剂（真空电子管用）

2. 钡钛非蒸散型吸气剂（高真空器件）

3. 稀土复合吸气材料（核工业设备）

4. 分子筛吸附剂（气体纯化系统）

5. 薄膜吸气涂层（半导体封装组件）

检测方法

1. ASTM F798-82(2020)：吸气剂化学活性测试规程

2. ISO 15751:2014 真空技术-吸气剂性能评估方法

3. GB/T 5163-2020 烧结金属材料透气率测定

4. GB 5237.6-2017 铝合金建筑型材第6部分：吸气性能

5. ISO 9277:2010 BET比表面积测定标准

检测设备

1. Thermo Scientific ARL QUANT'X X射线荧光光谱仪（元素分析）

2. Micromeritics ASAP 2460 比表面及孔隙度分析仪

3. Netzsch STA 449 F5 Jupiter同步热分析仪（TG-DSC联用）

4. Leybold PHOENIX L300i 氦质谱检漏仪

5. Pfeiffer Vacuum HiCube 80 Eco涡轮分子泵系统

6. Agilent 7890B气相色谱仪（气体成分分析）

7. MKS Baratron 627D高精度电容压力计（量程10⁻⁴~1000 Torr）

8. Shimadzu EDX-8100能量色散X射线光谱仪

9. Linseis L78/RITA高频热膨胀仪

10. Vacuum Atmospheres MO40-MD惰性气体操作箱