检测项目

1. 气密性检测：泄漏率≤0.5% vol/h（氦质谱法），压力保持≥0.8MPa/30min

2. 流量精度测试：误差范围±1.5%FS（满量程），重复性≤0.8%

3. 压力稳定性监测：波动值＜±2kPa（额定工况下）

4. 温度均匀性验证：工作腔温差≤±1.5℃（多点测温）

5. 动态响应特性：阶跃响应时间＜50ms（90%目标值）

检测范围

1. 工业气体循环泵（氢气/氮气/惰性气体介质）

2. 实验室级气体循环装置（纯度≥99.999%）

3. 热交换器配套循环系统（耐压≥10MPa）

4. 半导体工艺气体回收设备（颗粒物≤Class 5）

5. 医疗级氧气循环模块（符合YY/T 0298标准）

检测方法

1. ASTM D6356-17：气体成分分析质谱法

2. ISO 8573-2:2018：压缩空气颗粒物浓度测定

3. GB/T 18435-2021：潜水呼吸气体循环装置检验规程

4. GB/T 38522-2020：微电子器件用高纯气体系统测试方法

5. ISO 10780:2020：固定源排放-管道流速测量

检测设备

1. INFICON HLD5000氦质谱检漏仪（灵敏度5×10⁻¹² Pa·m³/s）

2. Sierra Instruments 780S层流质量流量计（精度±0.8%RD）

3. Druck DPI620压力校验仪（量程0-15MPa,分辨率0.001MPa）

4. Fluke Ti450红外热像仪（热灵敏度＜0.03℃）

5. TSI 8530粉尘监测仪（粒径范围0.1-15μm）

6. Agilent 490微型气相色谱仪（分析周期＜30s）

7. Endress+Hauser Prosonic Flow 93超声波流量计（耐压40bar）

8. KANOMAX 6111三维风速仪（量程0-50m/s）

9. Vaisala HUMICAP® HMT337温湿度变送器（精度±0.8%RH）

10. AMETEK JOFRA ATC-155干体炉（温场均匀性±0.05℃）