检测项目

1. 硼化氢纯度测定（≥99.99%）

2. 水分含量检测（≤50 ppm）

3. 杂质气体分析（O₂≤10 ppm, N₂≤20 ppm, CO₂≤5 ppm）

4. 热稳定性测试（200℃/4h分解率≤0.5%）

5. 金属离子残留量（Fe≤0.1 ppm, Ni≤0.05 ppm）

检测范围

1. 半导体级硼化氢气体

2. 储氢合金材料表面涂层

3. 化学气相沉积（CVD）前驱体

4. 高能燃料添加剂

5. 核反应堆中子屏蔽材料

检测方法

ASTM E260-2019 气相色谱法测定气体纯度

ISO 19230:2020 质谱法分析微量杂质

GB/T 14852-2021 卡尔费休库仑法测水分

ASTM E1356-2008 差示扫描量热法评估热稳定性

GB/T 23942-2021 ICP-MS测定金属离子含量

检测设备

Agilent 7890B气相色谱仪：配备TCD检测器，分辨率0.1 ppm

Thermo Scientific ISQ 7000质谱仪：质量范围1-1050 amu

Mettler Toledo C30S库仑法水分仪：精度±0.1 μg H₂O

NETZSCH STA 449F3同步热分析仪：温度范围RT-1600℃

PerkinElmer NexION 350D ICP-MS：检出限0.01 ppt

Siemens MAXUM II工业色谱系统：在线实时监测气体组分

Anton Paar DMA 4500M密度计：测量精度±0.0001 g/cm³

Systech Illinois EC913氧分析仪：量程0-1000 ppm

Horiba PG-250颗粒计数器：粒径分析范围0.1-10 μm

VICI Valco六通阀进样系统：耐压10 MPa高压采样