检测项目

1. 极限真空度：测量泵组在空载状态下达到的最低压力值（Pa或Torr）

2. 抽气速率：标定单位时间内气体排出量（m³/h或L/s）

3. 泄漏率：采用氦质谱法测定系统漏率（Pa·m³/s）

4. 噪音振动：A计权声压级≤75dB(A)，振动位移≤10μm

5. 能耗效率：功率因数≥0.85，比功率≤5kW/(m³/min)

检测范围

1. 工业级旋片式/螺杆式真空泵组

2. 实验室用分子涡轮泵组

3. 医疗设备配套无油隔膜泵组

4. 半导体行业干式涡旋泵组

5. 航空航天专用低温吸附泵组

检测方法

1. ASTM E2931-13 真空系统性能测试标准

2. ISO 21360:2018 真空泵验收试验规范

3. GB/T 19955.1-2021 容积真空泵性能测试方法

4. GB/T 3163-2022 真空技术术语与图形符号

5. ISO 1608-1:2020 容积真空泵抽速测定

检测设备

1. INFICON CDG025D电容薄膜真空计（10⁻4~1000Pa）

2. Leybold TURBOVAC TW70分子泵测试台

3. Agilent 5977B MSD氦质谱检漏仪（灵敏度5×10⁻¹²Pa·m³/s）

4. Keysight U5856A红外热像仪（-20~1500℃测温）

5. Bruel&Kjaer 2270型声级计（20~140dB测量范围）

6. Fluke 438-II电能质量分析仪（功率因数测量精度±0.5%）

7. Polytec PSV-500扫描式激光测振仪（0~25MHz频响）

8. Edwards XDS35i干式涡旋泵专用测试模块

9. Pfeiffer HPT200高精度压力校准系统（0.05级精度）

10. MKS 1179C全量程复合真空计（10⁻⁸~1000Torr）