检测项目

1. 光轴同轴度偏差：测量范围±0.005mm，分辨率0.1μm

2. 透镜曲率半径误差：检测精度≤λ/20（λ=632.8nm）

3. 反射镜面形精度：PV值≤0.1μm，RMS≤0.02μm

4. 机械装配轴向间隙：公差带±5μm

5. 温度形变补偿系数：-40℃~+85℃工况下位移量≤3μm/℃

检测范围

1. 高折射率光学玻璃（H-ZF52A, H-LAK7等）

2. 红外晶体材料（ZnSe, Ge, Si单晶）

3. 金属基底反射镜（铝合金6061-T6, 殷钢）

4. 注塑成型塑料光学元件（PMMA, COC）

5. 复合光学器件（自由曲面棱镜、衍射光学元件）

检测方法

1. ASTM E903-12：光谱透射率与反射率测试

2. ISO 10110-5：表面缺陷等级评定

3. GB/T 1800.3-2020：线性尺寸公差配合检测

4. ISO 14999-4：干涉法波前误差分析

5. GB/T 11168-2022：光学系统像质评价规范

检测设备

1. Zygo Verifire MST干涉仪：波长632.8nm，精度λ/1000

2. Mitutoyo CMM-Crysta Apex S：三坐标测量机，空间精度(1.9+L/250)μm

3. Bruker ContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm

4. Trioptics OptiCentric双光路定心仪：角度重复性±2"

5. Keyence VR-5000三维轮廓仪：Z轴测量范围30mm

6. Agilent Cary 7000紫外可见近红外分光光度计：波长范围175-3300nm

7. Olympus LEXT OLS5000激光共聚焦显微镜：横向分辨率120nm

8. Thorlabs KMS100微型光谱仪：波长精度±0.2nm

9. Hexagon Absolute Arm 7-Axis扫描臂：体积精度15μm+6μm/m

10. Newport AutoAlign自动准直系统：角度定位精度±0.5μrad