法布里泊罗干涉仪检测

检测项目

光学特性检测：

• 自由光谱范围：FSR≥100GHz（参照ISO10110-5）、半高全宽（FWHM）≤0.5nm
• 精细度：F≥200（参照ASTME903）、条纹对比度≥90%
• 透射率峰值：波长精度±0.01nm、峰值强度稳定性≤1%

机械稳定性检测：

• 镜面平行度：角度偏差≤0.1arcsec（参照ISO14999）、振动响应≤0.05μm
• 结构刚性：位移公差±5μm、共振频率≥1kHz
• 安装基座稳定性：倾斜误差≤0.02°、抗冲击等级IK08

热稳定性检测：

• 温度漂移系数：波长漂移≤0.005nm/°C（参照IEC61300）、热膨胀补偿精度±0.001%
• 热循环性能：-40°C至85°C循环下参数变化≤2%、恢复时间≤60s
• 局部热点效应：温度梯度≤0.5°C/mm、散热效率≥80W/m²K

波长准确性检测：

• 波长校准误差：绝对误差±0.02nm、相对误差≤0.01%（参照ISO1920）
• 光谱线性度：非线性偏差≤0.5%、波长重复性±0.003nm
• 多波长兼容性：覆盖范围400nm-1600nm、通道隔离≥40dB

分辨率检测：

• 光谱分辨率：最小可分辨波长差≤0.01nm（参照ASTME275）、分辨率带宽±5%
• 空间分辨率：点扩散函数半宽≤10μm、像差补偿精度λ/20
• 时间分辨率：响应时间≤1ms、采样率≥10kHz

透射率与反射率检测：

• 峰值透射率：≥95%（参照ISO13697）、透射带平坦度≤1dB
• 镜面反射率：≥99.9%、反射均匀性±0.1%
• 散射损失：总散射≤0.1%、角度依赖性±0.5°

校准精度检测：

• 参考标准校准：溯源至NIST标准、不确定度≤0.005nm
• 自动校准功能：校准周期≤10s、偏移补偿精度±0.001nm
• 环境校准因子：湿度影响校正系数≤0.002%/RH%、气压补偿误差±0.001%

环境适应性检测：

• 湿度影响：相对湿度10%-90%下参数漂移≤0.5%、冷凝防护等级IP67
• 气压变化：50kPa-110kPa下稳定性≤0.2%、真空兼容性≤10⁻³Pa
• 电磁干扰：EMC抗扰度≥10V/m、辐射发射≤30dBμV/m

使用寿命检测：

• 机械寿命：循环次数≥10⁶次、磨损率≤0.1μm/year
• 光学元件老化：透射率衰减≤0.5%/year、涂层耐久性≥10年
• 整体可靠性：MTBF≥50000小时、故障率≤0.1%/1000h

信号处理检测：

• 噪声水平：信噪比≥60dB、基底噪声≤0.1mV
• 数据采集精度：ADC分辨率≥16bit、采样误差±0.01%
• 处理算法效率：实时处理延迟≤10μs、FFT精度λ/50

检测范围

1.标准空气隙法布里泊罗干涉仪：核心检测自由光谱范围和机械稳定性，重点评估镜面平行度公差及温度漂移系数。

2.光纤布拉格光栅型FP干涉仪：侧重波长准确性检测，包括光纤耦合效率和光谱线性度校准。

3.MEMS微机械FP传感器：聚焦机械寿命和环境适应性，检测微小位移响应和热循环性能。

4.红外波段FP干涉仪：覆盖波长范围2μm-15μm，重点检测透射率峰值和热稳定性。

5.紫外增强型FP干涉仪：针对短波长应用，检测分辨率带宽和镜面反射率均匀性。

6.高精细度FP谐振腔：核心评估精细度和条纹对比度，确保高Q值应用可靠性。

7.可调谐FP滤波器：侧重波长校准误差和多波长兼容性，检测调谐范围和精度。

8.集成光学FP芯片：包括硅基光子器件，检测尺寸公差和信号处理效率。

9.工业在线FP监测系统：覆盖实时性能检测，重点振动响应和EMC抗扰度。

10.科研级FP光谱仪：聚焦高分辨率检测，包括噪声水平和数据采集精度。

检测方法

国际标准：

• ISO10110-5:2015光学元件表面公差检测方法
• IEC61300-3-7:2020光纤器件温度循环测试
• ASTME903-22材料透射率和反射率标准测试
• ISO14999-4:2018光学干涉仪机械稳定性评估
• IEC61000-4-3:2020电磁兼容性辐射抗扰度试验

国家标准：

• GB/T11155-2023光学干涉仪波长精度测试方法
• GB/T20147-2023光谱仪分辨率检测规程
• GB/T2423.22-2023环境试验热循环方法
• GB/T17626.3-2023电磁兼容性试验规范
• GB/T18833-2023光学元件校准精度技术要求

（国际标准侧重通用参数如公差和循环测试；国家标准强调具体应用参数校准，例如GB/T11155-2023规定波长误差限值比ISO更严格，ASTME903透射率测试采用不同光源谱宽）

检测设备

1.可调谐激光源：Keysight81600B（波长范围1260nm-1640nm，输出功率稳定性±0.01dB）

2.高分辨率光谱仪：YokogawaAQ6370D（分辨率0.02nm，动态范围78dB）

3.精密位移平台：NewportM-562-XYZ（位移精度±0.1μm，行程范围100mm）

4.温度控制箱：ESPECSH-641（温度范围-70°C至180°C，均匀度±0.3°C）

5.振动测试系统：Brüel&Kjær3560C（频率范围0.5Hz-10kHz，加速度±50g）

6.光学功率计：ThorlabsPM100D（波长范围200nm-11μm，精度±0.5%）

7.电磁兼容测试仪：Rohde&SchwarzESU40（频率范围9kHz-40GHz，场强精度±1dB）

8.干涉条纹分析系统：ZygoVerifireHD（相位测量精度λ/100，采样率1MHz）

9.湿度控制室：ClimatsC1800（湿度范围5%-95%RH，控制精度±1%）

10.寿命测试台：Instron8801（循环载荷0-500N，计数精度±0.1%）

11.真空腔系统：PfeifferHiCube80Eco（真空度10⁻⁶Pa，泄漏率≤10⁻⁹mbar·L/s）

12.信号发生器：TektronixAFG31000（带宽500MHz，波形失真≤0.1%）

13.数据采集卡：NationalInstrumentsPXIe-5160（采样率5GS/s，分辨率16bit）

14.显微镜成像系统：OlympusBX53（放大倍数50x-1000x，分辨率0.2μm）

15.热像仪：FLIRA6703sc（温度分辨率0.02°C，空间分辨率

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"法布里泊罗干涉仪检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。