检测项目

1. 波前相位偏差量：测量范围λ/20~λ/2（λ=632.8nm），RMS重复性≤0.005λ

2. 曲率半径偏差：检测精度±0.1%（R≥100mm），最大可测曲率半径2000mm

3. 表面粗糙度：Ra 0.1nm~50nm（采样长度0.08mm~8mm）

4. 局部斜率误差：分辨率0.1μrad（@100mm口径）

5. 面形精度：PV值测量范围λ/50~λ/4（λ=10.6μm）

检测范围

1. 非球面/自由曲面光学透镜（熔石英、氟化钙基底）

2. 高能激光系统反射镜（铜钼合金镀金表面）

3. 太赫兹波段超材料相位板（周期结构尺寸50-500μm）

4. 微波天线辐射器（频率范围1-110GHz）

5. 光刻机投影物镜组（工作波长193nm/13.5nm）

检测方法

1. ISO 10110-5:2015 光学元件面形公差评价规范

2. ASTM E284-22 光学表面特征标准术语

3. GB/T 1800.3-2020 产品几何技术规范(GPS)基础第3部分

4. ISO 14999-4:2015 光学元件干涉测量数据处理方法

5. GB/T 7661-2022 光学零件面形偏差测试方法

检测设备

1. Zygo Verifire™ XP/D激光干涉仪：最大口径600mm，重复精度＜0.1nm RMS

2. Taylor Hobson PGI Optics非接触式轮廓仪：垂直分辨率0.01nm

3. Keysight N5247A矢量网络分析仪：频率范围10MHz-110GHz

4. Mitutoyo RA-2200全自动粗糙度仪：探针半径2μm金钢石测针

5. 4D Technology PhaseCam®动态干涉仪：振动抑制＞100Hz带宽

6. Olympus LEXT OLS5000激光扫描显微镜：横向分辨率120nm

7. Newport SP306精密气浮隔振平台：振幅衰减＞90%@10Hz

8. Optikos LensCheck™ MTF测试系统：空间频率达300lp/mm

9. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：Z轴扫描范围10mm

10.Trioptics OptiCentric®双轴对准仪：角度分辨率0.1arcsec