检测项目
1. 曲率半径偏差：测量范围±5000mm，精度±0.05%
2. 局部畸变量：检测分辨率0.1μm@25mm视场
3. 面形PV值：测量精度λ/20（λ=632.8nm）
4. 离轴角偏差：角度范围±15°，分辨率0.1arcsec
5. 非对称度：轴向偏差±0.05mm/m
检测范围
1. 非球面光学透镜：直径3-500mm的玻璃/树脂镜片
2. OLED显示基板：G6-G10.5世代线面板
3. 精密注塑模具：表面粗糙度Ra≤0.01μm的金属模具
4. 航天反射镜：口径≤2m的碳化硅基底镜面
5. 汽车曲面玻璃：曲率半径500-5000mm的钢化玻璃
检测方法
1. ISO 10110-5:2015 光学元件面形公差规范
2. ASTM E903-20 材料太阳光吸收比测试标准
3. GB/T 2831-2009 光学零件面形偏差检验方法
4. ISO 14997:2018 光学表面缺陷检测规范
5. GB/T 13323-2009 光学零件表面疵病分级标准
检测设备
1. Zygo Verifire MST激光干涉仪：波长632.8nm，精度λ/1000
2. Taylor Hobson PGI1240轮廓仪：Z轴分辨率0.8nm
3. Mitutoyo CMM Crysta-Apex S系列三坐标机：空间精度(1.2+3L/1000)μm
4. Bruker ContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.01nm
5. Trioptics OptiCentric双光路测试仪：偏心测量精度±1μm
6. Keyence VR-6000三维扫描仪：采样点距0.5μm
7. Nikon NEXIV VMZ-S655影像测量仪：放大倍率3500X
8. Zeiss O-INSPECT复合式测量机：多传感器融合系统
9. Olympus LEXT OLS5000激光显微镜：横向分辨率120nm
10.Schneider Kreuznach KOLIBRI多波长干涉仪：支持405-1550nm波段