检测项目

1. 主轴径向跳动量：≤0.002mm（千分表测量）

2. 研磨压力稳定性：±1.5N（动态压力传感器监测）

3. 工作台平面度误差：≤0.005mm/300mm（激光干涉仪校准）

4. 温升控制能力：连续运行4小时温升≤8℃（红外热像仪记录）

5. 表面粗糙度Ra值：≤0.025μm（白光干涉仪测量）

检测范围

1. 天然单晶钻石拉线模（孔径0.01-3.00mm）

2. 聚晶金刚石复合片（PCD）模具

3. 硬质合金YG8系列线材成型模具

4. 立方氮化硼（cBN）涂层模具

5. 钨钢系列精密拉拔模具

检测方法

1. ISO 24347:2016《超硬材料加工机床精度检验规范》

2. GB/T 6405-2018《超硬磨料制品金刚石或立方氮化硼磨具技术条件》

3. ASTM B931-20《金属粉末注射成型模具测试方法》

4. ISO 25178-604:2013《产品几何量技术规范表面结构区域法》

5. GB/T 17421.2-2016《机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定》

检测设备

1. Taylor Hobson Talysurf CCI Lite非接触式三维表面轮廓仪（分辨率0.01nm）

2. Renishaw XL-80激光干涉仪（线性测量精度±0.5ppm）

3. Mitutoyo Crysta-Apex S系列三坐标测量机（空间精度1.9+L/250μm）

4. Kistler 9129AA测力仪（量程0-200N，采样率20kHz）

5. Fluke TiX580红外热像仪（热灵敏度≤0.03℃）

6. Zygo NewView 9000白光干涉仪（垂直分辨率0.1nm）

7. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪（横向分辨率0.4μm）

8. KEYENCE VHX-7000数字显微镜（5000倍光学放大）

9. SCHNEEBERGER MICROSTEP圆度仪（径向误差±0.025μm）

10. HEIDENHAIN ND287电子水平仪（分辨率0.001mm/m）