1. 曲率半径偏差:测量范围±0.05mm至±2mm,精度要求≤0.01%
2. 表面粗糙度:Ra值检测范围0.1nm-10nm,空间波长0.1mm-10mm
3. 反射率均匀性:波长范围400-1600nm,不均匀性≤±0.5%
4. 腔体同轴度偏差:轴向偏差≤2μm/100mm,径向偏差≤5μm
5. 热稳定性测试:温度循环范围-40℃~+85℃,形变量≤λ/20@632.8nm
1. 光学玻璃谐振腔(K9、熔融石英等)
2. 金属镀膜反射镜(金膜、银膜、铝膜)
3. 晶体材料谐振腔(Nd:YAG、蓝宝石等)
4. 复合介质膜谐振片(TiO2/SiO2多层膜系)
5. 超精密加工金属腔体(无氧铜、殷钢等)
1. ISO 10110-8:2020 光学元件表面粗糙度测试规范
2. ASTM E429-16 反射率测量标准试验方法
3. GB/T 13754-2019 激光谐振腔性能测试方法
4. ISO 14997:2018 光学表面缺陷检测标准
5. GB/T 31370-2015 光学晶体材料测试通则
1. Zygo Verifire MST干涉仪:曲率半径测量精度±0.005%
2. Taylor Hobson PGI1240轮廓仪:表面粗糙度分辨率0.1nm
3. Agilent Cary7000分光光度计:反射率测量精度±0.1%
4. Mitutoyo CMM Crysta-Apex S坐标测量机:空间定位精度0.6μm+L/400
5. OptoTherm IR-TCM热像仪:温度分辨率0.02℃@25℃
6. Keysight N5227A网络分析仪:频率范围10MHz-67GHz
7. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪:垂直分辨率0.01nm
8. Newport AutoAlign激光准直系统:角度对准精度±1μrad
9. Thorlabs PAX1000偏振分析仪:消光比测量范围60dB
10. ESEC 2000环境试验箱:温变速率15℃/min可调
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与半共心谐振腔检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。