检测项目
1. 曲率半径偏差：测量范围±0.05mm至±2mm，精度要求≤0.01%
2. 表面粗糙度：Ra值检测范围0.1nm-10nm，空间波长0.1mm-10mm
3. 反射率均匀性：波长范围400-1600nm，不均匀性≤±0.5%
4. 腔体同轴度偏差：轴向偏差≤2μm/100mm，径向偏差≤5μm
5. 热稳定性测试：温度循环范围-40℃~+85℃，形变量≤λ/20@632.8nm
检测范围
1. 光学玻璃谐振腔（K9、熔融石英等）
2. 金属镀膜反射镜（金膜、银膜、铝膜）
3. 晶体材料谐振腔（Nd:YAG、蓝宝石等）
4. 复合介质膜谐振片（TiO2/SiO2多层膜系）
5. 超精密加工金属腔体（无氧铜、殷钢等）
检测方法
1. ISO 10110-8:2020 光学元件表面粗糙度测试规范
2. ASTM E429-16 反射率测量标准试验方法
3. GB/T 13754-2019 激光谐振腔性能测试方法
4. ISO 14997:2018 光学表面缺陷检测标准
5. GB/T 31370-2015 光学晶体材料测试通则
检测设备
1. Zygo Verifire MST干涉仪：曲率半径测量精度±0.005%
2. Taylor Hobson PGI1240轮廓仪：表面粗糙度分辨率0.1nm
3. Agilent Cary7000分光光度计：反射率测量精度±0.1%
4. Mitutoyo CMM Crysta-Apex S坐标测量机：空间定位精度0.6μm+L/400
5. OptoTherm IR-TCM热像仪：温度分辨率0.02℃@25℃
6. Keysight N5227A网络分析仪：频率范围10MHz-67GHz
7. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.01nm
8. Newport AutoAlign激光准直系统：角度对准精度±1μrad
9. Thorlabs PAX1000偏振分析仪：消光比测量范围60dB
10. ESEC 2000环境试验箱：温变速率15℃/min可调