检测项目

1. 曲率半径偏差：测量范围±0.05mm至±2mm，精度要求≤0.01%

2. 表面粗糙度：Ra值检测范围0.1nm-10nm，空间波长0.1mm-10mm

3. 反射率均匀性：波长范围400-1600nm，不均匀性≤±0.5%

4. 腔体同轴度偏差：轴向偏差≤2μm/100mm，径向偏差≤5μm

5. 热稳定性测试：温度循环范围-40℃~+85℃，形变量≤λ/20@632.8nm

检测范围

1. 光学玻璃谐振腔（K9、熔融石英等）

2. 金属镀膜反射镜（金膜、银膜、铝膜）

3. 晶体材料谐振腔（Nd:YAG、蓝宝石等）

4. 复合介质膜谐振片（TiO2/SiO2多层膜系）

5. 超精密加工金属腔体（无氧铜、殷钢等）

检测方法

1. ISO 10110-8:2020 光学元件表面粗糙度测试规范

2. ASTM E429-16 反射率测量标准试验方法

3. GB/T 13754-2019 激光谐振腔性能测试方法

4. ISO 14997:2018 光学表面缺陷检测标准

5. GB/T 31370-2015 光学晶体材料测试通则

检测设备

1. Zygo Verifire MST干涉仪：曲率半径测量精度±0.005%

2. Taylor Hobson PGI1240轮廓仪：表面粗糙度分辨率0.1nm

3. Agilent Cary7000分光光度计：反射率测量精度±0.1%

4. Mitutoyo CMM Crysta-Apex S坐标测量机：空间定位精度0.6μm+L/400

5. OptoTherm IR-TCM热像仪：温度分辨率0.02℃@25℃

6. Keysight N5227A网络分析仪：频率范围10MHz-67GHz

7. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.01nm

8. Newport AutoAlign激光准直系统：角度对准精度±1μrad

9. Thorlabs PAX1000偏振分析仪：消光比测量范围60dB

10. ESEC 2000环境试验箱：温变速率15℃/min可调