多喷嘴扩散泵检测

检测项目

真空性能检测：

• 极限真空度：测量值（Pa），参照ISO21360-1
• 抽速测试：流量范围（L/s），稳定性偏差≤±5%
• 泄漏率：氦检测（mbar·L/s），≤1×10^{-9}

• 喷嘴几何尺寸：公差±0.05mm（GB/T1804）
• 焊接强度：拉力≥450MPa，疲劳寿命≥10,000次
• 装配精度：同心度≤0.01mm

• 成分检测：Cr含量17-19%，Ni含量8-10%（ASTME147）
• 金相组织：晶粒度≥5级，夹杂物评级（ISO4967）
• 热处理效果：硬度HV200-250

• 涂层厚度：50-100μm（ISO2178）
• 耐磨性：磨损量≤0.01mg/cm²
• 附着力：划格测试等级≥4B（ASTMD3359）

• 循环寿命：≥15,000次启停（参照客户规范）
• 老化试验：热氧化稳定性（150°C/1000h）
• 振动耐受：振幅≤10μm（ISO10816）

• 工作温度范围：-30°C～160°C
• 热变形量：≤0.1mm（ISO306）
• 冷却效率：温差≤5°C

• 声压级：≤65dB(A)（ISO3744）
• 振动频谱：频率1-10kHz，峰值≤15μm
• 平衡性测试：动平衡等级G2.5（ISO1940）

• 绝缘电阻：≥100MΩ（IEC61010）
• 耐电压：AC1500V/1min无击穿
• 接地连续性：电阻≤0.1Ω

• 油扩散剂粘度：40-60cSt（ASTMD445）
• 流量均匀性：偏差≤±3%
• 密封性：压力衰减≤5%

• 温湿度循环：-40°C～85°C，RH95%（IEC60068）
• 腐蚀耐受：盐雾试验≥500h（ISO9227）
• 气压变化：真空维持时间≥24h

检测范围

1.不锈钢泵体：涵盖304/316L牌号，重点检测耐腐蚀性和真空兼容性，确保无磁性干扰

2.铝合金喷嘴组件：包括6061/7075合金，侧重轻量化设计和热导率校验

3.陶瓷涂层表面：氧化铝/ZrO2涂层，检测附着强度和耐磨特性

4.橡胶密封圈：氟橡胶/硅胶材料，重点评估弹性变形和耐老化性能

5.冷却系统部件：铜/铝制热交换器，检测热传递效率和防冻特性

6.驱动电机单元：步进/伺服电机，侧重转矩输出和转速稳定性

7.控制系统模块：PCB/传感器组件，检测信号精度和EMC兼容性

8.真空法兰接口：CF/KF标准法兰，重点校验密封性和尺寸公差

9.油扩散剂流体：合成/矿物油类，检测纯度、粘度和挥发性

10.整体泵装配系统：集成单元，检测系统协调性和运行可靠性

检测方法

国际标准：

• ISO21360-1:2020Vacuumtechnology-JianCemethodsformeasuringvacuum-pumpperformance-Part1:Generaldescription
• ISO148-1:2022Metallicmaterials-Charpypendulumimpacttest-Part1:Testmethod
• ASTME147-2019JianCeTestMethodsforChemicalAnalysisofStainlessSteels
• IEC61010-1:2020Safetyrequirementsforelectricalequipment

• GB/T11718-2021Vacuumtechnology-Measurementofvacuum-pumpperformance（抽速测试方法与ISO差异：GB要求额外静态校准）
• GB/T228.1-2021Metallicmaterials-Tensiletesting（应变速率范围比ASTME8更窄）
• GB/T10125-2021Corrosiontestsinartificialatmospheres（盐雾试验周期比ISO9227短）
• GB/T2423.1-2022Environmentaltesting（温湿度循环参数与IEC60068一致）

检测设备

1.真空计：INFICONBPG400型（测量范围10^{-10}至1000Pa，精度±0.5%）

2.泄漏检测仪：LEYBOLDPHOENIXL300型（灵敏度1×10^{-10}mbar·L/s，氦气模式）

3.三维坐标测量机：ZEISSCONTURAG2型（精度±0.001mm，扫描速度100mm/s）

4.万能材料试验机：SHIMADZUAGX-V型（载荷0-300kN，应变控制±0.1%）

5.直读光谱仪：THERMOARL4460型（检测限0.001%，波长范围170-800nm）

6.涂层测厚仪：ELCOMETER456型（范围0-2000μm，误差±1%）

7.环境试验箱：ESPECPSL-2KPH型（温度-70°C至180°C，湿度5-95%RH）

8.振动测试系统：BRÜEL&KJÆR3050型（频率范围1-10kHz，分辨率0.1Hz）

9.声级计：SVAJianCe971型（范围30-130dB，符合IEC61672）

10.绝缘电阻测试仪：MEGGERMIT515型（电压0-5000V，电阻范围0.01Ω至10TΩ）

11.流量计：KEYENCEFD-Q10型（范围10-1000L/min，精度±0.2%FS）

12.热像仪：FLIRT865型（分辨率640×480，热灵敏度≤0.03°C）

13.金相显微镜：OLYMPUSBX53M型（放大1000×，数字成像）

14.数据采集系统：NIcDAQ-9188型（采样率100kHz，通道32路）

15.真空校准泵：EDWARDSnXRi型（参考标准ISO21360，真空度

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"多喷嘴扩散泵检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。