检测项目
1. 束腰半径测量：精度±0.5μm（波长532nm）
2. 发散角测试：分辨率0.01mrad
3. M²因子计算：误差≤±3%
4. 光斑椭圆度分析：偏差值≤5%
5. 波前畸变检测：PV值≤λ/10@632.8nm
检测范围
1. 固体/气体激光器输出光束
2. 光学透镜/反射镜传输系统
3. 光纤耦合激光模块
4. 激光加工机床聚焦光斑
5. 空间光调制器相位校正系统
检测方法
ISO 11146-1:2021 激光束宽度与发散角测定
ISO 13694:2018 光学激光功率密度分布测试
GB/T 13739-2011 激光光束参数测试方法
ASTM E2848-13 激光束质量M²因子标准
GB/T 15175-2012 激光光束分析仪校准规范
检测设备
1. Ophir-Spiricon M2-200s：M²因子全自动测量系统
2. Coherent BeamMaster-UCD15：紫外波段光束分析仪
3. Thorlabs BP209-IR/M：中红外光斑诊断仪
4. Cinogy CINCam系列：高速CMOS光束分析相机
5. Primes MicroSpotMonitor：高功率激光焦点监测系统
6. DataRay WinCamD-LCM：大动态范围光斑分析仪
7. Gentec-EO Beamage-4D：波前传感器集成系统
8. Hamamatsu L11934-01：飞秒激光时空特性分析仪
9. Newport LBP2-HE：高能激光束剖面测量装置
10. Photon BeamScan 1180：实时光强分布监测仪