检测项目
1. 光谱响应范围:200-1100nm波长范围内的量子效率偏差≤±3%
2. 线性度误差:满量程输出时非线性误差<0.5%FS
3. 暗电流噪声:25℃环境下暗电流密度≤1nA/cm²
4. 响应时间:上升时间≤10ns(90%信号幅度)
5. 温度稳定性:-40℃至85℃工作温区内增益漂移<0.05%/℃
检测范围
1. CCD/CMOS图像传感器阵列组件
2. 光纤通信光接收模块
3. X射线平板探测器读出电路
4. 激光雷达光电转换单元
5. 高能物理实验用硅光电倍增管
检测方法
1. ISO 16505:2019《光学和光子学-光电探测器特性测量》
2. ASTM F1241-22《固态成像器件参数测试规程》
3. GB/T 18901-2021《图像传感器光电参数测试方法》
4. IEC 60747-5-8:2020《分立器件-光电子器件测试规范》
5. GB/T 26179-2010《光辐射安全测量规范》
检测设备
1. Keysight N9030B频谱分析仪(10Hz-50GHz带宽)
2. Agilent 33500B系列任意波形发生器(30MHz带宽)
3. Tektronix DPO73304S示波器(33GHz采样率)
4. Newport Oriel CS260B单色仪(200-2500nm波长)
5. Keithley 4200A-SCS半导体参数分析仪(0.1fA分辨率)
6. Fluke 6105A光电校准源(±0.02%不确定度)
7. Thermo Scientific LN2低温恒温系统(-196℃控温)
8. Ophir PD300-UV光电探头(200-1100nm响应)
9. Labsphere LMS-7600积分球光源系统(直径75cm)
10. Chroma 19032-C光伏IV测试仪(1500V/40A量程)