检测项目

偏转角度精度：测量范围±15°，分辨率0.001°，重复性≤0.003°

聚焦位移误差：轴向检测范围0-50mm，误差阈值±0.05μm

形变恢复率：循环加载1000次后残余形变≤0.2%

热漂移稳定性：温控精度±0.1℃，热致偏转量≤0.008°/℃

能量分布均匀性：采用ISO 13694标准，光斑不均匀度≤3%

检测范围

光学元件：菲涅尔透镜/非球面透镜/偏振分光棱镜

精密仪器：激光扫描振镜/光纤耦合器/显微物镜组

复合材料：碳纤维增强聚合物/形状记忆合金层压板

电子器件：MEMS微镜阵列/柔性电路板/微型电机转子

医疗器械：内窥镜聚焦模组/激光治疗头/人工晶体

检测方法

ISO 10110-5:2015：光学系统波前畸变分析法，采用Zernike多项式拟合

ASTM E2867-22：动态偏转响应测试，频率范围0.1-200Hz

IEC 61300-3-52:2022：光纤器件偏振相关损耗测量法

GB/T 16857-2018：坐标测量机(CMM)三维形位公差评定

JIS B 7090:2020：激光光束质量因子M²测量规程

检测设备

ZYGO Verifire MST干涉仪：波长632.8nm，PV值重复性＜λ/200

Keyence VR-5000三维测量仪：Z轴分辨率0.01μm，扫描速率100kHz

Polytec PSV-500扫描式激光测振仪：位移分辨率0.1pm，频响DC-25MHz

Agilent 5500原子力显微镜：XYZ扫描范围90×90×10μm，噪声水平<0.5Å

Instron E10000电液伺服系统：载荷精度±0.5%，位移控制精度±0.1μm

技术优势

CNAS认可实验室（注册号：详情请咨询工程师），检测报告国际互认

配备ISO/IEC 17025:2017认证的质量管理体系

技术团队含3名ASQ认证质量工程师、5名光学专业博士

建立国家计量院可溯源的量值传递体系（证书编号：详情请咨询工程师）

配置Class 100洁净实验室，温控±0.5℃，湿度±3%RH

　　以上是与偏转聚焦测试相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。