检测项目

1. 响应时间：测量电压阶跃信号下器件输出达到90%稳态值的时间（≤2μs）

2. 灵敏度误差：满量程输入时输出信号偏差（±0.5%FS）

3. 线性度：输入-输出特性曲线与理想直线的最大偏离值（≤0.3%）

4. 绝缘电阻：500V DC测试电压下电极间阻值（≥100GΩ）

5. 温度系数：-40℃~+85℃范围内灵敏度变化率（≤0.02%/℃）

检测范围

1. 压电陶瓷类电压敏感器（PZT材料）

2. 半导体式电压传感器（SiC基器件）

3. 高分子复合材料柔性敏感器

4. MEMS微结构电压传感元件

5. 高压输变电系统用绝缘型敏感器

检测方法

1. IEC 61000-4-30:2022 Class A级电能质量测试规程

2. ASTM D2148-2020 绝缘材料体积电阻率测定法

3. GB/T 12720-2008 传感器动态特性校准规范

4. ISO 17025:2017 实验室环境温湿度控制要求

5. GB/T 17626.4-2018 电快速瞬变脉冲群抗扰度试验

检测设备

1. Tektronix DPO7054高带宽示波器（3GHz带宽/40GS/s采样率）

2. Fluke 6105A高精度电能标准源（0.005%基本精度）

3. Chroma 19032耐压测试仪（AC 5kV/DC 6kV输出）

4. ESPEC PL-3KPH温度冲击箱（-70℃~+180℃转换时间＜5s）

5. Keysight 34461A六位半数字万用表（1μV直流分辨率）

6. Omicron Bode100频响分析仪（10MHz频率范围）

7. HIOKI PW3390功率分析仪（0.02%基波精度）

8. EM TEST UCS500N雷击浪涌发生器（6kV组合波输出）

9. Agilent E4980AL精密LCR表（20Hz-2MHz测试频率）

10. Thermotron SM-32C三综合振动试验系统（5-2000Hz扫频）