检测项目

1. 数值孔径（NA值）：测量范围0.05-1.4NA，精度±0.002NA

2. 工作距离：检测范围0.1-50mm，分辨率0.01μm

3. 波前像差：PV值≤λ/4（λ=632.8nm），RMS≤λ/20

4. 透射率：光谱范围400-1600nm，偏差≤±1%

5. 表面粗糙度：Ra≤0.5nm（20×20μm扫描区域）

检测范围

1. 光学玻璃透镜（BK7、Fused Silica等）

2. 红外材料（ZnSe、Ge晶体）

3. 显微物镜组（5×-100×放大倍率）

4. 金属镀膜反射镜（Al/Ag/Au镀层）

5. 非球面光学元件（二次曲面度≤0.1μm）

检测方法

1. ISO 10110-5:2015 表面缺陷评定

2. ASTM E1951-14(2020) 分辨率测试

3. GB/T 7661-2009 光学零件表面疵病检验

4. ISO 14999-4:2015 干涉法波前测量

5. GB/T 2831-2009 光学零件透过率测试

检测设备

1. Zygo Verifire MST干涉仪：波长632.8nm，PV重复性0.05λ

2. Olympus MX63金相显微镜：500×放大倍率，NA=0.95

3. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm

4. Shimadzu UV-3600i Plus分光光度计：波长范围185-3300nm

5. Trioptics OptiCentric双光路中心仪：精度±0.5μm

6. Mitutoyo MF-U1000超景深显微镜：Z轴重复性0.02μm

7. Thorlabs PAX1000偏光分析仪：消光比测量精度±0.05°

8. Zeiss LSM 980共聚焦显微镜：横向分辨率120nm

9. Keysight Cary 7000全能型分光光度计：角度分辨率0.001°

10. Nikon NEXIV VMZ-S4540视频测量系统：XY重复精度±0.3μm