检测项目

1. 密封性能测试：氦质谱检漏仪检测泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s

2. 极限真空度测定：冷阴极电离规测量≤5×10⁻⁷ Pa

3. 汞纯度分析：原子吸收光谱法测定Hg≥99.9995%

4. 返油率测试：石英晶体微量天平测量≤0.01 mg/cm²·h

5. 耐压强度验证：氦气加压至2.5MPa保压30min无泄漏

检测范围

1. 不锈钢泵体及内部流道组件

2. 陶瓷绝缘密封件（Al₂O₃含量≥95%）

3. 金属扩散障板（镍基合金N6）

4. 聚酰亚胺真空密封圈

5. 钨阴极电子发射组件

检测方法

1. ASTM E2933-13 真空泵性能测试标准方法

2. ISO 21360:2018 真空泵验收试验规范

3. GB/T 19955.1-2005 蒸汽流真空泵性能测量方法

4. GB/T 3163-2007 真空技术术语

5. ISO 1608-1:2020 蒸汽喷射真空泵测试规程

检测设备

1. Agilent 5977B MSD 气相色谱-质谱联用仪（汞纯度分析）

2. Leybold PHOENIX L300i 氦质谱检漏仪（泄漏率检测）

3. INFICON XT7M 冷阴极电离真空计（超高真空测量）

4. MKS 937B 电容薄膜规（压力精确测量）

5. HORIBA STEC M3200QA 质量流量控制器（气体流量校准）

6. Keysight 34465A 数字万用表（电气参数测试）

7. Thermo Scientific iCAP RQ ICP-MS（金属杂质分析）

8. ZEISS Axio Imager.A2m 金相显微镜（表面形貌观察）

9. Shimadzu AGS-X 100kN万能试验机（机械强度测试）

10. Hiden HAL201 RC 四极质谱仪（残余气体分析）