检测项目

1. 电阻率：18.2 MΩ·cm（25℃），表征水的离子纯度

2. 总有机碳（TOC）：≤5 ppb（ASTM D7573 Class A）

3. 颗粒物计数：≥0.1μm颗粒≤1个/mL（SEMI F63标准）

4. 微生物限度：≤1 CFU/mL（GB/T 33087-2016）

5. 阴/阳离子含量：单项≤0.1 ppb（ICP-MS法）

6. 溶解氧：≤10 ppb（GB/T 12145-2016）

7. 硅酸盐含量：≤0.5 ppb（ASTM D859-16）

检测范围

1. 半导体晶圆清洗用水

2. 制药行业注射用水（WFI）

3. 实验室超纯水系统产水

4. 光伏电池生产用超纯水

5. 平板显示器蚀刻工艺用水

6. 生物工程细胞培养用水

7. 精密光学器件冲洗用水

检测方法

1. ASTM D5127-13：离子色谱法测定阴离子含量

2. ISO 16264:2002：硅酸盐分光光度测定法

3. GB/T 11446.3-2013：电子级水电阻率测试规范

4. SEMI F63-0221：0.1μm颗粒在线监测技术规范

5. USP <645>：制药用水电导率测定标准

6. GB/T 33087-2016：微生物限度薄膜过滤法

7. ASTM F1094-87(2018)：总有机碳高温催化氧化法

检测设备

1. Milli-Q Advantage A10超纯水系统：集成TOC监测与电阻率实时反馈

2. HACH TOC-L CPH分析仪：高温燃烧法TOC检测（0.03-50,000 ppb）

3. Particle Measuring Systems CLS-700：激光粒子计数器（0.05-5μm）

4. Metrohm 930 Compact IC Flex：双通道离子色谱系统（检出限0.1ppb）

5. Mettler Toledo SevenExcellence S9：多参数电化学分析仪（电阻率/电导率/TDS）

6. Agilent 8900 ICP-MS：超痕量金属元素分析（ppt级检出限）

7. Sartorius MD8微生物采样器：无菌环境微生物截留装置

8. Horiba LA-950V2激光粒度仪：纳米级颗粒分布分析

9. Thermo Scientific Orion Star A221：溶解氧在线监测系统

10. Pall GeneDisc微生物快速检测系统：24小时微生物定量分析