检测项目
1. 极限真空度：测量在额定工况下的最低压力值（≤1×10-3 Pa），采用三级分子泵组测试
2. 抽气速率：标定在10-1~103 Pa压力范围内的气体流量（m³/h）
3. 泄漏率：氦质谱检漏法测定整体泄漏量（≤1×10-9 Pa·m³/s）
4. 噪音水平：距设备1m处A计权声压级（≤75 dB(A)）
5. 电机功率：空载/负载工况下输入功率偏差（±5%额定值）
检测范围
1. 工业级旋片式真空泵（油润滑型）
2. 干式螺杆真空泵（无油设计）
3. 分子涡轮增压机组
4. 低温冷凝泵系统
5. 医用负压吸引装置
检测方法
1. ASTM E2931-13《真空系统泄漏率测试标准》
2. ISO 21360:2018《真空泵性能测量方法》
3. GB/T 19955-2005《机械真空泵噪声测定》
4. GB/T 19956.1-2022《容积真空泵性能试验方法》
5. IEC 60335-2-69:2016《家用及类似用途电器的安全》
检测设备
1. Agilent UHV-24复合真空计（量程10-9~105 Pa）
2. Leybold DCG 050气体流量校准仪（精度±1.5%FS）
3. Pfeiffer ASM 340氦质谱检漏仪（灵敏度1×10-12 Pa·m³/s）
4. Brüel & Kjær 2250型声级计（频率范围6Hz~20kHz）
5. Yokogawa WT3000高精度功率分析仪（带宽0.1Hz~1MHz）
6. Edwards XDS35干泵测试平台（集成压力/温度传感器）
7. INFICON TGD3000残余气体分析仪（质量数1~300 amu）
8. MKS 925型电容薄膜规（分辨率0.25%读数）