检测项目

1. 弦纹间距精度:测量相邻弦纹中心距偏差(±0.05mm)

2. 凸起高度误差:控制单圈高度波动(≤±0.02mm)

3. 基面平面度:全口径平面度误差(≤λ/4@632.8nm)

4. 表面粗糙度:Ra值控制(≤0.01μm)

5. 材料硬度:维氏硬度测试(HV0.3≥600)

6. 镀膜附着力:划格法测试(0级为最高等级)

7. 环境稳定性:温度循环(-40℃~+85℃)形变量

检测范围

1. 光学玻璃基材凸弦纹镜(K9/BK7系列)

2. 金属合金反射镜(铝合金6061/钛合金TC4)

3. 陶瓷基复合镜体(碳化硅/氮化铝材质)

4. 聚合物成型镜片(PMMA/PC材料)

5. 镀膜增强型镜面(Al+SiO2多层镀膜)

6. 微晶玻璃超精密镜体

检测方法

1. 几何量测量:依据ISO 10360-2进行三坐标校准

2. 表面形貌分析:按ISO 25178执行白光干涉测量

3. 粗糙度测试:采用GB/T 3505规定的接触式轮廓仪法

4. 材料硬度检验:执行GB/T 4340.1维氏硬度试验规程

5. 镀膜性能评估:参照ASTM D3359进行划格法附着力测试

6. 热变形分析:依据GB/T 2423.22开展温度循环试验

检测设备

1. Mitutoyo CMM Crysta-Apex S:三维尺寸测量(精度0.8+L/600μm)

2. Zygo NewView9000:非接触式表面轮廓仪(垂直分辨率0.1nm)

3. Taylor Hobson Form Talysurf i120:接触式粗糙度仪(Ra测量范围0.01-50μm)

4. Shimadzu HMV-G21ST:显微硬度计(载荷范围10gf-2kgf)

5. Thermo Scientific ARL EQUINOX 1000:X射线荧光光谱仪(元素分析精度ppm级)

6. Espec TSE-11-A:温湿度循环试验箱(控温精度±0.5℃)

7. Olympus LEXT OLS5000:激光共聚焦显微镜(12000×光学放大)

8. Keyence VR-5000:三维形状测量系统(重复精度±0.1μm)

9. Bruker ContourGT-K1:光学轮廓仪(横向分辨率0.5μm)

10. Instron 5967:万能材料试验机(载荷范围50N-30kN)