检测项目

1.光谱响应范围：覆盖380-2500nm波段，分辨率≤1nm
2.光斑直径测量：0.5-5mm可调域值误差0.02mm
3.入射角精度：0-85范围内角度偏差≤0.05
4.反射率线性度：在0.1%-99.9%区间内非线性误差＜0.3%
5.偏振敏感性：S/P偏振态分离度≥30dB

检测范围

1.光学薄膜：AR/IR镀膜、分光膜、金属反射膜
2.半导体晶圆：光刻机镜头组、EUV掩模基板
3.显示面板：OLED微腔结构、量子点薄膜
4.航天器件：卫星光学载荷镜面、热控涂层
5.医疗设备：内窥镜光学系统、激光治疗窗口片

检测方法

ASTME903-20标准：材料太阳吸收比测试规范
ISO13696:2002光学元件散射特性测量方法
GB/T26331-2010光学薄膜激光损伤阈值测试
GB11168-2008光学零件表面疵病检验方法
ISO10110-7:2017光学元件表面缺陷等级划分

检测设备

1.奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜：三维表面形貌重建精度0.1nm
2.岛津UV-3600iPlus分光光度计：双单色器系统杂散光＜0.00005%
3.ZygoVerifireMST干涉仪：4D动态波前分析功能
4.蔡司LSM980withAiryscan2：超分辨光谱成像系统
5.布鲁克ContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.01
6.安捷伦Cary7000全能型分光光度计：支持UMA绝对反射附件
7.尼康ECLIPSEL200ND偏光显微镜：正交消光比＞1:10000
8.雷尼绍inViaQontor共焦拉曼系统：空间分辨率＜200nm
9.基恩士VHX-7000数字显微镜：20kV加速电压电子束扫描
10.海洋光学QEPro-F光谱仪：TE制冷型背照式CCD探测器