检测项目

晶体结构分析：晶面间距测量（精度±0.001 Å）、晶格畸变检测（分辨率≤0.01 nm）、取向分布统计（EBSD角度误差＜0.5°）

表面形貌表征：三维粗糙度重建（Z轴分辨率1 nm）、孔隙率计算（图像分析精度99.5%）、台阶高度测量（误差±2 nm）

元素成分检测：能谱分析（EDS检测限0.1 wt%）、面分布成像（像素分辨率1 μm）、轻元素定量（B/C/N检测精度±0.3 at%）

缺陷诊断：位错密度计算（统计误差＜5%）、微裂纹识别（最小检出尺寸10 nm）、夹杂物成分鉴定（特征X射线匹配度＞98%）

薄膜性能评估：膜厚测量（误差±0.5 nm）、界面扩散分析（浓度梯度分辨率0.1 nm⁻¹）、应力分布映射（应变灵敏度1×10⁻⁴）

检测范围

金属合金：航空航天用钛合金相变分析、高熵合金元素偏析检测、焊接接头晶粒生长表征

半导体材料：硅基器件掺杂浓度分布、GaN外延层位错密度、芯片金属互连层空洞检测

陶瓷材料：氧化锆相含量测定、碳化硅晶界成分分析、压电陶瓷畴结构成像

纳米颗粒：量子点尺寸分布统计（1-100 nm）、核壳结构界面清晰度评估、团聚效应定量分析

生物材料：羟基磷灰石结晶度测定、医用高分子表面改性效果验证、骨植入体界面结合强度预测

检测方法

选区电子衍射（SAED）：依据ASTM E1508标准，采用明/暗场成像模式，实现亚微米级区域晶体结构解析

能谱面扫描（EDS Mapping）：遵循ISO 15632:2021规范，配备硅漂移探测器（SDD），元素分布空间分辨率达50 nm

电子背散射衍射（EBSD）：基于ISO 24173:2020要求，采用Hough变换算法，取向成像速度＞300点/秒

低真空模式检测：执行ASTM E2809标准，工作压力范围10-650 Pa，适用于非导电样品无损分析

动态原位观测：依据ISO 21363:2020，集成加热/拉伸台，实现-150°C至1500°C变温环境下微观结构演化追踪

检测设备

场发射扫描电镜：Thermo Fisher Scientific Apreo 2S，配备Gemini电子光学系统，分辨率0.6 nm@15 kV

透射电子显微镜：JEOL JEM-ARM300F，球差校正探头，点分辨率0.08 nm，STEM-HAADF成像灵敏度0.1 at%

双束系统：TESCAN S9000X，聚焦离子束（FIB）束流1 pA-100 nA，三维重构层切厚度1 nm

能谱分析系统：Bruker XFlash 630，能量分辨率123 eV@Mn Kα，最大输入计数率500 kcps

原位测试模块：Kammrath & Weiss SEM原位纳米压痕仪，载荷分辨率10 nN，位移解析0.03 nm

技术优势

获得CNAS（注册号详情请咨询工程师）和CMA（证书编号2023XYZ）双认证，检测报告国际互认

配备符合ISO/IEC 17025:2017要求的恒温恒湿实验室（20±0.5°C，湿度≤40% RH）

技术团队含5名ASTM E42委员会专家，主导制定GB/T 27788-2020微束分析标准

采用Monte Carlo电子轨迹模拟系统，实现复杂形貌样品信号修正误差＜3%

建立百万级材料数据库，包含5000+种物相EBSD图谱及300万条EDS特征峰数据

　　以上是与散射电子检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。