检测项目
1.焦距精度:测量实际焦距与标称值偏差(0.1mm)
2.透光率测试:400-1100nm波段透过率(≥98%)
3.表面粗糙度:Ra≤0.8nm(RMS≤1.2nm)
4.曲率半径偏差:球面曲率误差≤0.05%
5.像差分析:波前畸变PV值≤λ/4@632.8nm
检测范围
1.光学玻璃透镜(BK7、H-K9L等)
2.树脂材料非球面透镜
3.红外硫系玻璃透镜(Ge、ZnSe等)
4.微透镜阵列(MLA)器件
5.复合镀膜透镜组件
检测方法
ASTME430-2016透光率测试标准
ISO10110-5:2015表面缺陷等级评定
GB/T7242-2008焦距测量规范
ISO14997:2012光学表面散射测试
GB/T2831-2009光学零件面形偏差检验方法
检测设备
1.ZygoGPI-XP激光干涉仪:波前像差分析(精度λ/100)
2.MitutoyoSurftestSJ-410轮廓仪:表面粗糙度测量(0.01nm分辨率)
3.TriopticsOptiCentric双光路定心仪:光轴偏移量检测(1μm)
4.PerkinElmerLambda1050分光光度计:宽光谱透射率测试(190-3300nm)
5.TaylorHobsonTalysurfPGI三维轮廓仪:非球面面形测量(0.8nm垂直分辨率)
6.OptikosLensCheckMTF测试系统:调制传递函数分析(空间频率0-200lp/mm)
7.BrukerContourGT-K光学轮廓仪:纳米级表面形貌重建(0.1nm纵向分辨率)
8.NewportAutoAlign自动准直系统:焦距重复性测试(0.02mm精度)