检测项目
1.电场强度测量：范围0.1kV/m至100kV/m，精度1.5%
2.电场分布均匀性分析：空间分辨率≤2mm
3.介质损耗角正切值（tanδ）：频率50Hz-1MHz
4.表面电位衰减率：时间常数0.1s至3600s
5.绝缘材料击穿场强：直流/交流模式切换，最高测试电压300kV
检测范围
1.半导体材料（硅晶圆、GaN基板）
2.高压绝缘子（陶瓷/复合材质）
3.电力电容器薄膜（聚丙烯、聚酯）
4.静电防护产品（防静电地板、包装材料）
5.航空航天线缆（耐高温氟塑料绝缘层）
检测方法
1.ASTMD1868-2021《固体电绝缘材料耐电压试验方法》
2.ISO3915:2022《塑料薄膜体积电阻率测定》
3.GB/T12703.4-2020《纺织品静电性能第4部分：电场衰减法》
4.IEC60243-1:2013《固体绝缘材料电气强度试验方法》
5.GB/T1692-2008《硫化橡胶绝缘电阻率测定》
检测设备
1.Keithley6517B静电计：分辨率0.01fA，最大输入电压1kV
2.TrekModel347高压放大器：输出20kVDC/AC
3.EMCTestCTS-100介质损耗测试仪：频率范围15Hz-150kHz
4.SimcoFMX-004静电场测试仪：量程20kV/m，温度补偿功能
5.HiokiST5520表面电阻计：测量范围10~10⁶Ω
6.PhenixTechnologiesHVT-300工频耐压试验台：容量300kVA
7.KeysightB2987A皮安表：最小电流测量0.1fA
8.OmicronBDS200局部放电检测系统：带宽20MHz
9.MeggerMIT525绝缘电阻测试仪：测试电压2500VDC
10.Fluke1587FC绝缘万用表：CATIV1000V安全等级