检测项目

倾斜角精度检测：测量镜面法线与基准面的夹角偏差，检测精度达±0.5arcsec（角秒级）

反射面平整度检测：采用λ/20精度的激光干涉法，检测PV值（峰谷值）≤λ/4@632.8nm

表面粗糙度检测：白光干涉仪测量Ra≤0.8nm，空间波长范围0.1-1000μm

材料应力分布检测：数字光弹法检测应力梯度≤5MPa/cm，采样密度0.1mm/pixel

涂层均匀性检测：光谱椭偏仪检测膜厚偏差≤±1%，反射率波动＜0.5%@工作波段

检测范围

光学玻璃倾斜镜：用于激光准直系统、天文望远镜自适应光学组件

金属反射镜（铝合金/铍合金）：卫星姿态控制系统的快速反射镜组件

碳化硅复合材料镜体：空间遥感器的轻量化扫描反射镜

陶瓷基光学镜片：高能激光系统的光束转向器件

聚合物动态变形镜：生物显微成像系统的波前校正元件

检测方法

ISO 10110-5:2015：光学元件表面缺陷评价标准，规定划痕-麻点等级划分方法

ASTM E430-11(2021)：采用SCATT方法测量表面散射特性，角度分辨率0.01°

MIL-PRF-13830B：军用标准规定表面粗糙度PSD（功率谱密度）曲线分析方法

DIN 4768:1990：表面纹理特征的三维参数评估，包含Sa、Sq等11项指标

GB/T 1800.1-2020：几何公差检测的极值判定法，置信度≥99.7%

检测设备

Zygo Verifire MST激光干涉仪：最大检测口径Φ600mm，重复性精度0.1nm RMS

Taylor Hobson CCI HD白光干涉仪：垂直分辨率0.01nm，横向分辨率0.3μm

Hexagon Absolute Arm 7轴测量机：空间测量精度±15μm+6μm/m，带热变形补偿

4D Technology动态干涉仪：抗振型瞬态相位测量，采样速率5000帧/秒

Shimadzu XRD-7000应力分析仪：sin²ψ法测量残余应力，精度±10MPa

技术优势

CNAS L7456认证实验室：通过ISO/IEC 17025:2017体系认证，检测报告国际互认

温控超净检测环境：Class 100洁净间，温度波动±0.1℃/h，湿度控制±2%RH

多物理场耦合检测能力：支持真空（10⁻³Pa）、低温（-196℃）、振动（20-2000Hz）复合测试

自主开发数据分析软件：符合NIST PTB算法标准，包含Zernike多项式拟合等12种分析模块

专业技术团队：8名光学检测高级工程师，平均从业年限15年以上，主导制定3项行业标准

　　以上是与倾斜镜检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。