检测项目
1.表面粗糙度（Ra）：测量范围0.05-1.6μm，分辨率0.01μm
2.曲率半径偏差：检测范围R0.1-50mm，允许公差0.5%
3.局部变形量：最大测量深度50μm，精度等级IT4
4.曲率连续性指数：评价区间0-1.0，阈值设定≥0.85
5.波峰波谷高度差：量程0-200μm，重复性误差≤1%
检测范围
1.金属合金：钛合金TC4/TA15、铝合金7075/6061等精密加工件
2.高分子材料：PEEK/PTFE注塑成型件及3D打印制品
3.光学元件：非球面透镜、自由曲面反射镜等光学器件
4.精密模具：IC封装模仁、微结构压印模板等
5.陶瓷基复合材料：SiC/Al₂O₃烧结体及C/C复合材料
检测方法
1.ISO25178-2:2022《几何产品规范(GPS)-表面纹理:区域法》
2.ASTMD7127-17《非接触式三维表面轮廓测量标准》
3.GB/T29531-2013《金属切削加工表面粗糙度评定方法》
4.ISO10110-8:2020《光学和光子学-光学元件制图要求》
5.GB/T34879-2017《增材制造技术-制件几何特性检测规范》
检测设备
1.TaylorHobsonPGI3D轮廓仪：配备1200万像素CCD传感器，Z轴分辨率0.8nm
2.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：最大行程350mm，符合JISB0601标准
3.ZeGagePlus三维光学干涉仪：垂直分辨率0.1nm，横向分辨率0.5μm
4.KeyenceVR-5000三维扫描系统：搭载蓝光LED光源，扫描速度10,000点/秒
5.AliconaInfiniteFocusG5：20倍物镜配置，Z轴重复精度30nm
6.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：支持120mm120mm大视场测量
7.HexagonAbsoluteArm7-Axis扫描臂：空间精度15μm+6μm/m
8.NikonNEXIVVMZ-S6520视频测量系统：配备DFD自动对焦技术
9.OGPSmartScopeZIP450多传感器系统：集成接触式探针与光学探头
10.RenishawREVO五轴测量系统：同步扫描速度500mm/s