检测项目

1.靶面直径误差：测量实际直径与标称值的偏差范围（0.05mm）

2.厚度均匀性：全表面厚度极差不超过0.1mm

3.表面平整度：平面度误差≤0.02mm/m

4.边缘垂直度：侧壁与基面夹角偏差＜0.5

5.孔径位置度：安装孔中心距公差0.03mm

检测范围

1.高纯金属溅射靶（铜/铝/钛合金）

2.氧化物陶瓷靶材（ITO/ZnO/Al₂O₃）

3.氮化物涂层基板（TiN/Si₃N₄）

4.复合磁控溅射靶（CoCrPt-SiO₂）

5.旋转管状镀膜靶材

检测方法

ASTMF1711-96磁控溅射靶材尺寸测量规范

ISO10110-5:2015光学元件表面形貌检测标准

GB/T23456-2009金属溅射靶材通用技术要求

GB/T1800.2-2020产品几何技术规范(GPS)基础公差

ISO4287:1997表面粗糙度参数及其数值标准

检测设备

MitutoyoLSM-902V激光扫描仪：分辨率0.001mm的二维尺寸测量

HexagonGlobalAdvantage三坐标测量机：空间定位精度1.5μm+3L/1000

ZygoNewView9000白光干涉仪：表面粗糙度Ra≤1nm的形貌分析

KeyenceVR-5000三维轮廓仪：Z轴重复精度0.05μm

OlympusDSX1000数码显微镜：5000倍放大下的微观尺寸测量

TESAMicro-Hite3D高度规：垂直方向测量精度0.8μm

RenishawXL-80激光干涉仪：线性定位精度校准至0.5ppm

BrukerContourGT-X3光学轮廓仪：非接触式三维形貌重建

Starrett798B电子数显千分尺：分辨率0.001mm的接触式测量

NikonNEXIVVMZ-S2520影像测量系统：双远心镜头自动边缘识别

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与靶子大小检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。