检测项目

1.靶面直径误差：测量实际直径与标称值的偏差范围（0.05mm）

2.厚度均匀性：全表面厚度极差不超过0.1mm

3.表面平整度：平面度误差≤0.02mm/m

4.边缘垂直度：侧壁与基面夹角偏差＜0.5

5.孔径位置度：安装孔中心距公差0.03mm

检测范围

1.高纯金属溅射靶（铜/铝/钛合金）

2.氧化物陶瓷靶材（ITO/ZnO/Al₂O₃）

3.氮化物涂层基板（TiN/Si₃N₄）

4.复合磁控溅射靶（CoCrPt-SiO₂）

5.旋转管状镀膜靶材

检测方法

ASTMF1711-96磁控溅射靶材尺寸测量规范

ISO10110-5:2015光学元件表面形貌检测标准

GB/T23456-2009金属溅射靶材通用技术要求

GB/T1800.2-2020产品几何技术规范(GPS)基础公差

ISO4287:1997表面粗糙度参数及其数值标准

检测设备

MitutoyoLSM-902V激光扫描仪：分辨率0.001mm的二维尺寸测量

HexagonGlobalAdvantage三坐标测量机：空间定位精度1.5μm+3L/1000

ZygoNewView9000白光干涉仪：表面粗糙度Ra≤1nm的形貌分析

KeyenceVR-5000三维轮廓仪：Z轴重复精度0.05μm

OlympusDSX1000数码显微镜：5000倍放大下的微观尺寸测量

TESAMicro-Hite3D高度规：垂直方向测量精度0.8μm

RenishawXL-80激光干涉仪：线性定位精度校准至0.5ppm

BrukerContourGT-X3光学轮廓仪：非接触式三维形貌重建

Starrett798B电子数显千分尺：分辨率0.001mm的接触式测量

NikonNEXIVVMZ-S2520影像测量系统：双远心镜头自动边缘识别