检测项目
1.表面原子吸附力测量：分辨率0.1nN，量程范围0.1-1000nN
2.界面结合能分析：精度2%，适用温度-196C至800C
3.微观摩擦系数测定：横向力灵敏度0.05μN
4.范德华力分布图谱：空间分辨率0.5nm
5.分子间键合力测试：动态范围10pN至50μN
检测范围
1.半导体晶圆表面处理层（硅基/氮化镓基）
2.MEMS器件微结构界面
3.纳米涂层材料（石墨烯/二硫化钼）
4.生物医用高分子材料（胶原蛋白/聚乳酸）
5.精密光学元件镀膜层
检测方法
1.ASTME2865-12(2020)：表面力测量标准方法
2.ISO14577-4:2016：微纳米压痕法测定力学性能
3.GB/T31231-2014：纳米材料表面特性测试通则
4.ISO11039:2012：扫描探针显微镜校准规范
5.GB/T35022-2018：微机电系统力学性能测试方法
检测设备
1.ParkSystemsNX10原子力显微镜：配备TrueNon-Contact模式，Z轴分辨率0.03nm
2.BrukerDimensionIconPT：集成ScanAsyst智能扫描系统
3.Keysight5500LSM：支持激光多普勒测振功能
4.HysitronTIPremier纳米压痕仪：载荷分辨率50nN
5.NT-MDTNTEGraSpectra：集成拉曼光谱联用模块
6.OxfordInstrumentsMFP-3DInfinity：温控范围-180C至250C
7.ZeissMerlinCompactSEM：配备原位力学测试系统
8.Agilent5100AFM/SPM：扫描速度达30帧/秒
9.ShimadzuSPM-9700HT：高温环境专用探针台
10.HitachiAFM5100N：最大扫描范围100100μm