检测项目

1.空气流速：测量范围0.1-100m/h，精度1.5%FS

2.残余氧含量：检测限0.01%-21%，分辨率0.001%

3.系统压力稳定性：波动值≤2%设定值

4.泄漏率：灵敏度110⁻⁸Pam/s

5.温度梯度：监测范围-50℃至300℃，均匀性1℃

检测范围

1.工业管道系统（不锈钢/碳钢/PVC材质）

2.真空包装食品容器（铝箔复合膜/PP塑料）

3.医疗设备灭菌舱室（316L不锈钢/石英玻璃）

4.半导体制造真空腔体（铝合金/陶瓷涂层）

5.航空航天燃料储罐（钛合金/碳纤维复合材料）

检测方法

ASTME2931-13：惰性气体置换法测定密闭系统残余氧含量

ISO8573-4:2019：压缩空气颗粒物与湿度联合检测规程

GB/T18435-2022：潜水呼吸气体纯度测试规范

ASTMF2338-09(2020)：包装件顶空气体分析标准方法

GB50493-2019：石油化工可燃气体检测报警规范

检测设备

1.ThermoScientificMAX300-LC：多组分气体分析仪（0.001ppm分辨率）

2.INFICONHLD5000：氦质谱检漏仪（510⁻mbarL/s灵敏度）

3.MKS247C：四极质谱仪（1-300amu质量范围）

4.VaisalaMMT330：温湿度变送器（0.8℃/-40~+80℃）

5.Agilent490MicroGC：微型气相色谱（分析周期＜30s）

6.PfeifferASM340：全量程真空计（110⁻⁴~1100mbar）

7.BrukerGASMETDX4040：傅里叶红外分析仪（4500-900cm⁻波段）

8.TSI4043：精密风速传感器（0-50m/s量程）

9.KeysightU1273A：高精度万用表（6位分辨率）

10.Fluke725S：多功能校准仪（压力0.005%精度）