检测项目

1.最高位数字精度：(0.5+L/200)μm（L为测量长度mm）
2.重复性误差：≤0.3μm（10次测量极差）
3.温度漂移系数：≤0.1μm/℃（20-25℃环境）
4.轴向负载偏差：≤0.8μm/N（Z轴方向）
5.动态响应特性：阶跃响应时间≤50ms（1μm位移量）

检测范围

1.金属材料：铝合金6061-T6/不锈钢316L的平面度/圆柱度
2.电子元件：BGA封装焊球高度/PCB通孔垂直度
3.精密模具：注塑模芯型腔深度/冲压模导向柱同轴度
4.光学器件：透镜曲率半径/棱镜角度偏差
5.机械部件：滚珠丝杠导程误差/齿轮齿廓累积偏差

检测方法

ASTME2546-15接触式坐标测量机校准规范
ISO10360-2:2009坐标测量机性能评定标准
GB/T16857.2-2017产品几何量技术规范(GPS)
GB/T18779.1-2019三坐标测量机验收规则
ISO/IEC17025:2017检测实验室能力通用要求

检测设备

1.ZeissACCURAII三坐标测量机：配备VASTXTgold扫描探头，空间精度1.1+L/350μm
2.MitutoyoLH-600激光干涉仪：分辨率0.001μm，测量范围80m
3.KeyenceLM-9000激光位移计：采样频率392kHz，线性度0.02%F.S.
4.RenishawXL-80激光校准系统：动态精度0.5ppm，温度补偿精度0.2℃
5.HexagonAbsoluteArm7325便携式测量臂：单点重复性1.9μm
6.MahrFederalMillimarC1216电感测头：分辨率0.01μm，量程200μm
7.NikonNEXIVVMZ-S6560视频测量系统：光学放大倍率35x-210x
8.TaylorHobsonTalyrond585LT圆度仪：径向精度0.01μm
9.OGPSmartScopeFlash500多传感器系统：Z轴分辨率0.1μm
10.WylerZerotronic电子水平仪：角度分辨率0.001