检测项目
1.三维坐标偏差量测：X/Y/Z轴向误差≤0.01mm
2.平面度匹配验证：平面度误差0.005mm/m
3.空间角度校准：角度公差3''（角秒）
4.曲面轮廓吻合度：RMS值≤0.02μm
5.动态重复定位精度：3σ≤2μm
检测范围
1.航空发动机叶片：镍基合金高温部件
2.精密模具：SKD11/D2工具钢成型模仁
3.光学镜片：熔融石英非球面透镜
4.汽车动力总成：ADC12铝合金压铸壳体
5.半导体晶圆载具：PEEK复合材料框架
检测方法
1.ASTME2919-22非接触式三维扫描系统验证规程
2.ISO10360-13:2021坐标测量机验收标准
3.GB/T1958-2017产品几何量技术规范（GPS）形状和位置公差检测规定
4.ISO230-10:2021机床圆检验规范
5.GB/T16857-2018坐标测量机性能评价方法
检测设备
1.HexagonGlobalS7.10.7：配备HP-L-8.9探针系统，空间精度0.6+L/400μm
2.ZeissPRISMOultra：VASTXTgold扫描传感器，最大允许误差MPEE=1.0+3L/1000μm
3.NikonLC15DxS：激光干涉仪分辨率0.001μm，测量范围40m
4.FAROQuantumS：激光跟踪仪绝对测距精度10μm+5μm/m
5.MitutoyoCMMCrysta-ApexS：MFU3测头系统重复性0.25μm
6.GOMATOSQ：蓝光三维扫描仪单幅点云密度4Mpoints
7.RenishawPH20：五轴联动触发式测头定位速度500mm/s
8.LeicaAT960：激光跟踪仪动态测量速率1000Hz
9.KeyenceLM-9000：图像尺寸测量仪光学分辨率0.01μm
10.HexagonROMERAbsoluteArm7525SI：便携式关节臂重复精度0.015mm