检测项目

1.几何精度：分度误差≤3"，重复定位精度≤1.5"，全周累积误差≤15"

2.动态性能：转速0.1-300rpm下的振动幅值≤2μm，加速度波动率≤0.5%

3.温度稳定性：温升10℃时的热变形量≤0.005mm/m

4.材料特性：关键部件硬度HRC58-62，表面残余应力≤200MPa

5.表面质量：配合面粗糙度Ra≤0.4μm，波纹度Wt≤0.1μm

检测范围

1.数控机床转台：第四轴/第五轴回转工作台

2.光学仪器：分光计光栅系统、经纬仪轴系

3.精密传动部件：谐波减速器、RV减速器

4.测量设备：三坐标测量机转台、齿轮测量中心

5.自动化设备：工业机器人关节减速机、半导体晶圆旋转平台

检测方法

ASTME2309-05(2020)：采用多齿分度台比对法测量角位移误差

ISO230-2:2014：基于激光干涉仪的动态位置精度测试规范

GB/T17421.2-2016：机床圆运动精度的检验与评定方法

VDI/DGQ3441:2012：统计过程控制下的重复定位精度评价体系

JJG472-2007：光栅式测角仪检定规程

检测设备

1.LeitzInfinityCMM：配备RDS关节式测头系统，空间测量精度0.6+L/400μm

2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性分辨率0.001μm，最大测量速度4m/s

3.TaylorHobsonTalyrond585LT：圆度仪径向精度0.025μm

4.HEIDENHAINKGM182：绝对式角度编码器，系统精度0.5"

5.Keysight5530动态校准仪：频率响应范围DC-100Hz

6.MitutoyoRA-2200CNC：全自动转台校准系统，角度分辨率0.01"

7.ZEISSRONDCOM65A：非接触式圆度测量仪，采样频率1000Hz

8.APIXDLaser：六维激光测量系统，同时测量3个线性轴和3个旋转轴误差

9.SIOSSP2000D：超精密角度基准装置，不确定度0.05"（k=2）

10.OGPSmartScopeFlash500：多传感器测量系统，配备12MP彩色CMOS相机