检测项目

1.厚度均匀性：测量套体各区域厚度偏差（0.5μm）

2.表面粗糙度：Ra值≤0.2μm（接触式探针法）

3.抗拉强度：≥25MPa（拉伸速率5mm/min）

4.耐化学腐蚀性：30%NaOH/15%H2SO4浸泡48小时无溶胀

5.热变形温度：≥120℃（载荷0.45MPa）

6.密封性能：0.3MPa气压保压30分钟泄漏量＜0.5%

7.表面电阻率：110^6~110^9Ω（25℃/60%RH）

检测范围

1.正性/负性光刻胶专用显影套

2.聚四氟乙烯（PTFE）基耐腐蚀型显影套

3.多层复合结构显影组件

4.硅晶圆用超薄型显影套（厚度＜1mm）

5.高温显影工艺专用陶瓷涂层套件

6.柔性电路板用弹性体显影装置

检测方法

ASTMD638：塑料拉伸性能测试（IV型试样）

ISO4287：表面轮廓法粗糙度测量

GB/T2411：塑料邵氏硬度试验（A标尺）

ASTMD570：吸水率测定（23℃蒸馏水浸泡24h）

GB/T8808：热塑性塑料管材拉伸性能试验

ISO306：维卡软化温度测定（B50法）

ASTMD1004：塑料薄膜撕裂强度测试

检测设备

1.MitutoyoLitematicVL-50S：非接触式激光测厚仪（分辨率0.1μm）

2.Instron5967万能材料试验机：最大载荷30kN（精度0.5%）

3.KEYENCEVK-X1000：3D激光显微系统（表面形貌分析）

4.MettlerToledoDSC3差示扫描量热仪：温度范围-90~600℃

5.Agilent4338B高阻计：电阻测量范围10^3~10^16Ω

6.ThermoScientificNicoletiS50FTIR：材料成分分析（4000-400cm⁻）

7.LabthinkMFY-01密封试验仪：测试压力0~0.7MPa可调

8.HitachiSU5000场发射电镜：表面微观结构观测（放大倍数100,000）

9.NetzschDMA242E动态热机械分析仪：温度扫描模式-150~500℃

10.ShimadzuGC-2030气相色谱仪：有机挥发物残留检测（ppb级）