1.反射率测试:波长范围400-1600nm,入射角0-45,精度0.3%@632.8nm
2.面形精度检测:PV值≤λ/10(λ=632.8nm),RMS≤λ/50
3.表面粗糙度测量:Ra≤0.5nm(扫描区域5050μm)
4.膜层均匀性分析:厚度公差3%,折射率偏差≤0.5%
5.抗激光损伤阈值:1064nm波长下≥5J/cm(20ns脉宽)
1.熔融石英基底前表面镜(激光谐振腔组件)
2.硅基镀膜红外反射镜(热成像系统)
3.金属薄膜反射镜(真空紫外光谱仪)
4.聚合物基底柔性反射镜(可穿戴光学设备)
5.复合涂层空间反射镜(卫星遥感载荷)
1.ASTME903-20《材料太阳吸收率的标准测试方法》反射率测试
2.ISO10110-5:2015《光学元件面形公差规范》
3.GB/T13841-2009《光学薄膜激光损伤阈值测试方法》
4.ISO12123:2017《光学表面粗糙度测量规程》
5.GB/T26332.3-2015《光学薄膜元件环境适应性试验》
1.ZygoVerifireMST干涉仪:面形精度测量(λ/100分辨率)
2.BrukerContourGT-X8轮廓仪:三维表面形貌分析
3.AgilentCary7000分光光度计:380-2500nm全波段反射率测试
4.CoherentAvatar激光损伤测试系统:1-100ns可调脉宽
5.OlympusLEXTOLS5000共聚焦显微镜:0.01nm纵向分辨率
6.VeecoNT9100白光干涉仪:100mm大口径测量能力
7.ShimadzuAIM-9000膜厚分析仪:0.1nm厚度分辨率
8.NewportAutoAlign自动准直系统:微弧度级角度控制
9.ThorlabsBP209-IR2光束分析仪:近红外波段光斑质量评估
10.KeysightN7788B偏振分析仪:S/P偏振反射特性测量
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与前表面镜检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。