检测项目

1.真空度测试：测量系统极限压力（范围110⁻Pa至110⁻⁶Pa），精度5%

2.泄漏率检测：氦质谱法测定漏率（灵敏度≤110⁻Pam/s）

3.放气率分析：材料表面放气量（单位mbarL/scm），温度范围-50℃至300℃

4.耐压强度试验：最大压力差10⁵Pa下保压24小时

5.渗透率测定：气体透过率（单位cm/m24h0.1MPa），适用H₂/O₂/He

6.热真空循环测试：温度循环-196℃至+150℃，循环次数≥100次

检测范围

1.半导体封装器件（陶瓷/金属密封腔体）

2.真空镀膜设备（磁控溅射靶材、真空室体）

3.航天器密封组件（推进剂贮箱、舷窗玻璃）

4.医疗灭菌包装（Tyvek材料复合膜）

5.超导电缆绝缘层（聚酰亚胺薄膜）

6.高能物理实验装置（粒子加速器真空管道）

检测方法

1.ASTME493-22：静态升压法测定系统泄漏率

2.ISO15364:2018：船舶与海洋工程真空系统测试规范

3.GB/T32218-2015：真空技术术语与图形符号

4.ASTME595-07(2023)：真空环境下材料挥发物测定

5.GB/T31480-2015：深冷容器真空夹层漏率检测方法

6.ISO21360:2019：真空泵性能测试标准

检测设备

1.AgilentU5501B：四极杆质谱仪（分辨率0.5amu）

2.LeyboldPHOENIXL300i：氦检漏系统（最小可检漏率510⁻mbarL/s）

3.MKS925B：高精度电容薄膜规（量程110⁻⁴Torr至1000Torr）

4.EdwardsSTP-A4503：涡轮分子泵组（极限压力510⁻⁸mbar）

5.INFICONELT3000：残余气体分析仪（质量数1-300amu）

6.PfeifferVacuumHLT260：热阴极电离规（测量范围110⁻mbar至110⁻mbar）

7.VACUBRANDMD4CNT：化学隔膜泵（抽速4m/h）

8.CanonANELVAMR-105：磁悬浮转子规（精度15%）

9.ShimadzusTraceraBID-2010Plus：气相色谱仪（检出限0.01ppm）

10.KurtJ.LeskerKJLC360i：全金属密封真空室（尺寸Φ600800mm）