检测项目
1.表面粗糙度：Ra≤0.8nm（扫描区域55mm），Rz≤4nm（依据ISO10110-8）
2.反射率：波长范围250-2500nm（1%精度），分光角度5-80可调
3.透光率：可见光波段（380-780nm）透过率≥92%，红外波段（1-5μm）透过偏差≤0.5%
4.面形精度：PV值≤λ/20（λ=632.8nm），RMS≤λ/100（干涉法测量）
5.硬度测试：维氏硬度HV≥800（载荷500gf），划痕临界载荷≥30N（ASTMC1624）
检测范围
1.光学玻璃镜片：包括熔融石英、BK7、氟化钙等材质透镜/棱镜
2.金属镀膜反射镜：铝膜、银膜、金膜涂层厚度50-500nm
3.树脂镜片：CR-39、聚碳酸酯等模压成型光学元件
4.陶瓷基板镜体：氮化铝、氧化锆等精密烧结制品
5.半导体晶圆镜面：硅片抛光面（直径200-300mm）
检测方法
1.表面形貌分析：ISO25178-604非接触式白光干涉仪法
2.光谱反射率测试：ASTME430-11标准入射角15测量规程
3.透射特性测定：GB/T2410-2008双光束分光光度计法
4.面形误差检测：ISO10110-5激光干涉仪四步相移法
5.环境稳定性试验：GB/T2423.22-2012温湿度循环（-40℃~85℃,RH95%）
检测设备
1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm，用于面形精度测量
2.BrukerContourGT-X3轮廓仪：垂直分辨率0.01nm，扫描速度50μm/s
3.PerkinElmerLambda1050分光光度计：波长范围175-3300nm，带宽0.05nm
4.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：探针半径2μm，测量长度16mm
5.ShimadzuHMV-G21ST显微硬度计：最大载荷2kgf，光学放大倍数400
6.ThermoScientificARLEQUINOX1000X射线衍射仪：θ-θ测角仪精度0.0001
7.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：Z轴分辨率1nm，最大倍率15000
8.Agilent5500原子力显微镜：扫描范围9090μm，Z向噪声＜0.05nm
9.Instron5944万能材料试验机：载荷范围500mN-10kN，位移分辨率0.015μm
10.EspecSH-642恒温恒湿箱：温度范围-70℃~180℃，湿度控制10%-98%RH