检测项目

1.表面粗糙度：Ra≤0.8nm（扫描区域55mm），Rz≤4nm（依据ISO10110-8）

2.反射率：波长范围250-2500nm（1%精度），分光角度5-80可调

3.透光率：可见光波段（380-780nm）透过率≥92%，红外波段（1-5μm）透过偏差≤0.5%

4.面形精度：PV值≤λ/20（λ=632.8nm），RMS≤λ/100（干涉法测量）

5.硬度测试：维氏硬度HV≥800（载荷500gf），划痕临界载荷≥30N（ASTMC1624）

检测范围

1.光学玻璃镜片：包括熔融石英、BK7、氟化钙等材质透镜/棱镜

2.金属镀膜反射镜：铝膜、银膜、金膜涂层厚度50-500nm

3.树脂镜片：CR-39、聚碳酸酯等模压成型光学元件

4.陶瓷基板镜体：氮化铝、氧化锆等精密烧结制品

5.半导体晶圆镜面：硅片抛光面（直径200-300mm）

检测方法

1.表面形貌分析：ISO25178-604非接触式白光干涉仪法

2.光谱反射率测试：ASTME430-11标准入射角15测量规程

3.透射特性测定：GB/T2410-2008双光束分光光度计法

4.面形误差检测：ISO10110-5激光干涉仪四步相移法

5.环境稳定性试验：GB/T2423.22-2012温湿度循环（-40℃~85℃,RH95%）

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm，用于面形精度测量

2.BrukerContourGT-X3轮廓仪：垂直分辨率0.01nm，扫描速度50μm/s

3.PerkinElmerLambda1050分光光度计：波长范围175-3300nm，带宽0.05nm

4.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：探针半径2μm，测量长度16mm

5.ShimadzuHMV-G21ST显微硬度计：最大载荷2kgf，光学放大倍数400

6.ThermoScientificARLEQUINOX1000X射线衍射仪：θ-θ测角仪精度0.0001

7.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：Z轴分辨率1nm，最大倍率15000

8.Agilent5500原子力显微镜：扫描范围9090μm，Z向噪声＜0.05nm

9.Instron5944万能材料试验机：载荷范围500mN-10kN，位移分辨率0.015μm

10.EspecSH-642恒温恒湿箱：温度范围-70℃~180℃，湿度控制10%-98%RH

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与镜体检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。