检测项目

1.面形精度检测：RMS值≤λ/50（λ=632.8nm），PV值≤λ/10

2.反射率测试：400-2500nm波段反射率≥99.5%

3.表面粗糙度测量：Ra≤0.5nm（11μm扫描区域）

4.热变形分析：温度循环（-50℃~+80℃）下形变量≤0.05μm/℃

5.应力双折射检测：残余应力≤5nm/cm

检测范围

1.天文望远镜用熔石英主镜（Φ300mm-Φ8000mm）

2.高能激光系统铜基镀金反射镜

3.空间遥感器碳化硅非球面主镜

4.极紫外光刻机多层膜反射镜

5.红外成像系统离轴抛物面镜

检测方法

ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定规范

ASTME903-12光谱反射率标准测试方法

GB/T13323-2009光学零件面形偏差检验方法

ISO14999-4:2015光学元件干涉测量规程

GB/T34879-2017光学表面粗糙度测量-原子力显微镜法

检测设备

1.ZygoVerifireMST+激光干涉仪：Φ600mm口径面形测量，精度λ/1000

2.BrukerContourGT-X8白光干涉仪：0.1nm垂直分辨率粗糙度分析

3.AgilentCary7000紫外可见近红外分光光度计：175-3300nm全波段反射率测试

4.OptoThermIR-TCM160红外热像仪：非接触式热变形实时监测

5.MitutoyoCMMCrysta-ApexS系列三坐标机：空间尺寸误差0.8+L/300μm

6.VeecoDimensionIcon原子力显微镜：0.01nm纵向分辨率表面形貌分析

7.TriopticsOptiCentric双光路偏心仪：角度测量精度1"

8.4DTechnologyPhaseCam6000动态干涉仪：振动环境下面形实时测量

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与主镜检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。