检测项目
1.面形精度检测：RMS值≤λ/50（λ=632.8nm），PV值≤λ/10
2.反射率测试：400-2500nm波段反射率≥99.5%
3.表面粗糙度测量：Ra≤0.5nm（11μm扫描区域）
4.热变形分析：温度循环（-50℃~+80℃）下形变量≤0.05μm/℃
5.应力双折射检测：残余应力≤5nm/cm
检测范围
1.天文望远镜用熔石英主镜（Φ300mm-Φ8000mm）
2.高能激光系统铜基镀金反射镜
3.空间遥感器碳化硅非球面主镜
4.极紫外光刻机多层膜反射镜
5.红外成像系统离轴抛物面镜
检测方法
ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定规范
ASTME903-12光谱反射率标准测试方法
GB/T13323-2009光学零件面形偏差检验方法
ISO14999-4:2015光学元件干涉测量规程
GB/T34879-2017光学表面粗糙度测量-原子力显微镜法
检测设备
1.ZygoVerifireMST+激光干涉仪：Φ600mm口径面形测量，精度λ/1000
2.BrukerContourGT-X8白光干涉仪：0.1nm垂直分辨率粗糙度分析
3.AgilentCary7000紫外可见近红外分光光度计：175-3300nm全波段反射率测试
4.OptoThermIR-TCM160红外热像仪：非接触式热变形实时监测
5.MitutoyoCMMCrysta-ApexS系列三坐标机：空间尺寸误差0.8+L/300μm
6.VeecoDimensionIcon原子力显微镜：0.01nm纵向分辨率表面形貌分析
7.TriopticsOptiCentric双光路偏心仪：角度测量精度1"
8.4DTechnologyPhaseCam6000动态干涉仪：振动环境下面形实时测量