检测项目

曲率半径偏差：测量范围0.1mm至500mm，精度0.05μm（依据ISO10110-5）

焦距误差：允许公差0.5%（按GB/T7242-2008规定）

表面粗糙度：Ra≤0.8nm（超精密透镜），Ra≤5nm（常规光学件）

中心厚度偏差：0.01mm（直径≤50mm），0.03mm（直径＞50mm）

波前畸变：PV值≤λ/4@632.8nm（高精度激光透镜）

检测范围

光学玻璃透镜：包括BK7、FusedSilica等材质

树脂镜片：CR-39、PC材料模压成型镜片

红外透镜：Ge、ZnSe等中远红外波段材料

微透镜阵列：单元尺寸50μm-2mm的集成光学元件

非球面透镜：二次曲面系数＞0.1的高阶非球面

检测方法

曲率半径测量：ISO10110-5规定的干涉法与非接触式轮廓扫描法

焦距标定：GB/T7242-2008平行光管配合分划板成像法

表面缺陷检测：ASTME430-2011标准下的暗场显微成像技术

透过率测试：ISO13697规定的双光路分光光度计法

环境可靠性：GB/T2423.17盐雾试验与MIL-STD-810G温循测试

检测设备

ZygoVerifireHDX激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率λ/1000

TalySurfPGI1240轮廓仪：纵向分辨率0.1nm，行程200mm

Cary7000紫外可见分光光度计：波长范围190-3300nm

MitutoyoCMM三次元测量机：空间精度(1.9+3L/1000)μm

OlympusOLS5000激光共聚焦显微镜：横向分辨率120nm

SUSSMicroTecMA8光刻胶厚度仪：膜厚测量精度1nm

Newport1835-R光功率计：动态范围0.1nW-2W

TRIOPTicsOptiCentric双轴偏心仪：角度分辨率1"