检测项目

1.轴系同心度偏差：测量范围500μm，精度1.5μm（依据ISO1101）

2.平面度误差：最大允许误差0.02mm/m（GB/T11337-2017）

3.角度对准偏差：分辨率0.1"，量程300"（ASTME177）

4.平行度公差：轴向偏差≤0.03mm/100mm（ISO230-1）

5.基准面垂直度：测量不确定度≤2μm/200mm（GB/T1182-2018）

检测范围

1.高精度机床主轴与导轨系统

2.航空航天惯性导航平台基座

3.半导体光刻机光学对准模块

4.工业机器人关节传动机构

5.风电齿轮箱行星轮系组件

检测方法

ASTME177-20《精密轴系对准测量规范》

ISO230-1:2023《机床几何精度检验通则》

GB/T1182-2018《产品几何技术规范(GPS)几何公差》

ASMEB89.3.4-2010《轴线对准测量标准》

DIN876-3:2019《平面度与直线度测量方法》

检测设备

1.HexagonGlobalAdvantage三坐标测量机：空间测量精度(1.9+L/250)μm

2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性定位精度0.5ppm

3.APIXDLaser六维激光跟踪仪：角度测量分辨率0.1"

4.MitutoyoRA-1200圆柱度仪：径向跳动测量精度0.01μm

5.FAROVantage激光跟踪仪：70m量程下空间精度15μm

6.WylerZerotronic电子水平仪：倾角分辨率0.001mm/m

7.KEYENCELJ-V7000线激光传感器：Z轴重复精度0.05μm

8.PrftechnikOptalignSmart对中仪：轴偏差测量范围10mm

9.ZYGOVerifire干涉仪：面形精度λ/20(PV值)

10.SIOSSP2000双频激光干涉系统：线性位移分辨率0.1nm