检测项目
1.轴系同心度偏差：测量范围500μm，精度1.5μm（依据ISO1101）
2.平面度误差：最大允许误差0.02mm/m（GB/T11337-2017）
3.角度对准偏差：分辨率0.1"，量程300"（ASTME177）
4.平行度公差：轴向偏差≤0.03mm/100mm（ISO230-1）
5.基准面垂直度：测量不确定度≤2μm/200mm（GB/T1182-2018）
检测范围
1.高精度机床主轴与导轨系统
2.航空航天惯性导航平台基座
3.半导体光刻机光学对准模块
4.工业机器人关节传动机构
5.风电齿轮箱行星轮系组件
检测方法
ASTME177-20《精密轴系对准测量规范》
ISO230-1:2023《机床几何精度检验通则》
GB/T1182-2018《产品几何技术规范(GPS)几何公差》
ASMEB89.3.4-2010《轴线对准测量标准》
DIN876-3:2019《平面度与直线度测量方法》
检测设备
1.HexagonGlobalAdvantage三坐标测量机：空间测量精度(1.9+L/250)μm
2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性定位精度0.5ppm
3.APIXDLaser六维激光跟踪仪：角度测量分辨率0.1"
4.MitutoyoRA-1200圆柱度仪：径向跳动测量精度0.01μm
5.FAROVantage激光跟踪仪：70m量程下空间精度15μm
6.WylerZerotronic电子水平仪：倾角分辨率0.001mm/m
7.KEYENCELJ-V7000线激光传感器：Z轴重复精度0.05μm
8.PrftechnikOptalignSmart对中仪：轴偏差测量范围10mm
9.ZYGOVerifire干涉仪：面形精度λ/20(PV值)
10.SIOSSP2000双频激光干涉系统：线性位移分辨率0.1nm