检测项目
1.氩气浓度测定：纯度范围99.999%-99.9999%，分辨率0.0001%
2.氧含量分析：检出限≤0.1ppm（体积分数）
3.氮杂质检测：测量范围0.5-50ppm
4.水分露点测试：-80℃至+20℃动态范围
5.总烃类化合物：C1-C6组分定量分析
6.二氧化碳残留量：最低检出限0.05ppm
7.颗粒物含量：≥0.1μm粒径颗粒计数
检测范围
1.金属焊接保护用高纯氩气
2.半导体晶圆制造用超纯氩气
3.医疗麻醉用液态氩制剂
4.特种玻璃生产用工艺氩气
5.航空航天推进剂级氩气
6.核反应堆冷却系统用氩气
检测方法
ASTMD1137-22《气相色谱法测定惰性气体中杂质》
ISO6142:2021《气体分析-校准用混合气体的制备-动态体积法》
GB/T4842-2017《纯氩、高纯氩和超纯氩》
GB10621-2020《食品添加剂液体二氧化碳中氩的测定》
ASTMF1115-21《半导体制造用高纯氙和氩的测试方法》
检测设备
Agilent7890B气相色谱仪：配备TCD和FID双检测器，实现多组分同步分析
ThermoScientificISQ7000气质联用仪：痕量有机物检测灵敏度达ppt级
SiemensMaxumII工业色谱系统：在线连续监测工艺气体成分
AMETEK5100系列露点仪：测量范围-100℃至+20℃，精度0.5℃
MettlerToledo密度计DMA4500M：密度测量精度0.0001g/cm
HoribaVA-5000氧分析仪：最低检出限0.01ppmO₂
SystechIllinois800系列微量水氧分析仪：集成式传感器设计
AntonPaar振动管密度计：符合ISO15212-1标准要求
InficonHAPSITE便携式质谱仪：现场快速筛查20种以上杂质组分
SERVOMEX4100激光气体分析仪：实时监测工艺管线中氩纯度变化