检测项目
1.表面粗糙度：Ra0.05-25μm范围测量，Sa/Sz三维参数分析
2.几何公差：平面度≤0.01mm/100mm，圆度公差0.005mm
3.显微硬度：HV0.1-HV50标尺测试，载荷范围10-1000gf
4.涂层厚度：0.1-500μm测量精度0.5%
5.微观形貌：50-50000倍电子显微镜观测，特征尺寸测量精度0.1μm
检测范围
1.金属切削加工件（车削/铣削/磨削表面）
2.注塑成型塑料制品（外观面/配合面）
3.PCB线路板（焊盘/线路/钻孔）
4.光学镜片（曲率半径/面形精度）
5.精密模具（型腔尺寸/分型面配合）
检测方法
ASTME384-22显微硬度测试标准
ISO4287:2023表面粗糙度评定规范
GB/T10610-2018产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定规则
ISO25178-2:2022三维表面结构分析标准
GB/T11337-2019平面度误差检测方法
检测设备
1.三丰SJ-210表面粗糙度仪：Ra/Rz/Rt参数测量，分辨率0.001μm
2.ZeissO-Inspect322复合式测量机：光学+接触式三维测量精度1.8μm+L/200
3.KeyenceVHX-7000数字显微镜：5000倍超景深观测系统
4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：0.1nm垂直分辨率三维形貌重建
5.MitutoyoHM-220显微硬度计：10x~100x物镜自动压痕测量
6.HexagonAbsoluteARM7轴测量臂：空间精度0.025mm
7.OlympusDSX1000数码显微镜：20nm分辨率共聚焦成像系统
8.TaylorHobsonTalysurfi系列轮廓仪：0.8nmRMS噪声水平
9.Instron5982万能材料试验机：载荷精度0.5%全量程
10.NikonNEXIVVMZ-S2520视频测量系统：XY轴重复精度1μm