检测项目

1.沉积层厚度测量：精度0.1μm（范围0.5-500μm）

2.碳密度测定：采用氦气比重法（0.01-3.0g/cm）

3.元素组成分析：C含量（50-99.9wt%）、H/O/N杂质（ppm级）

4.微观结构表征：石墨化度（ID/IG比值0.1-2.0）、晶粒尺寸（2-50nm）

5.结合强度测试：临界载荷Lc值（1-50N）

检测范围

1.高温合金部件：涡轮叶片/燃烧室内壁/尾喷管

2.陶瓷基复合材料：C/SiC、SiC/SiC耐高温构件

3.高分子热解产物：聚酰亚胺/酚醛树脂碳化层

4.催化剂载体：活性炭/分子筛表面沉积物

5.储能系统组件：锂电负极/超级电容器电极

检测方法

1.ASTMB748-90(2021)：射线荧光法测厚度

2.ISO22309:2011：能谱仪元素定量分析

3.GB/T8642-2020：划痕法结合强度测试

4.ASTMD6556-19：BET比表面积测定

5.GB/T3074.1-2020：X射线衍射石墨化度计算

检测设备

1.HitachiSU5000场发射扫描电镜：表面形貌观测（5nm分辨率）

2.ThermoScientificK-AlphaXPS：化学态分析（检出限0.1at%）

3.ShimadzuXRD-7000衍射仪：晶体结构解析（角度精度0.01）

4.CSMRevetest划痕仪：膜基结合力测试（最大载荷100N）

5.MicromeriticsASAP2460比表面仪：孔隙结构分析（孔径0.35-500nm）

6.PerkinElmerSTA8000同步热分析仪：热稳定性测试（RT-1500℃）

7.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：三维形貌重建（垂直分辨率0.1nm）

8.Agilent7900ICP-MS：痕量金属杂质检测（ppt级灵敏度）

9.MalvernPanalyticalEmpyreanXRD：原位高温相变分析（-196-1600℃）

10.Keysight5500AFM：纳米级表面粗糙度测量（Z轴分辨率0.05nm）