检测项目

1.线性度误差：测量输出信号与理论直线的最大偏差（0.5%FS）

2.重复性精度：连续10次加载/卸载循环的离散值（≤0.1%FS）

3.温度漂移：-40℃~+85℃温域内的零点偏移量（0.05%/℃）

4.频率响应特性：带宽范围（DC~10kHz）内的相位延迟（≤1）

5.过载恢复能力：120%额定载荷下的回零误差（≤0.2%FS）

检测范围

1.MEMS压力传感器（硅基压阻式/电容式）

2.压电陶瓷加速度计（电荷输出型/IEPE型）

3.光纤光栅应变传感器（波长偏移量1520~1570nm）

4.霍尔效应位移传感器（线性测量范围15mm）

5.半导体应变片（阻值120Ω/350Ω/1000Ω）

检测方法

ASTME2309-05(2020)传感器静态特性校准规范

ISO16063-21:2003振动与冲击传感器动态校准

GB/T13823.3-2019振动与冲击传感器环境试验方法

IEC60770-1:2010工业过程控制系统用变送器性能评定

JJG644-2003振动位移传感器检定规程

检测设备

Keysight34972A数据采集仪：支持22位ADC分辨率，最大采样率1MHz

MTS793型动态测试系统：轴向加载力25kN，频率范围0.01~200Hz

Fluke725多功能过程校准器：电流输出精度0.01%rdg+0.005%FS

Brel&Kjr3053-B-060型振动台：最大加速度100g，频率范围5Hz~10kHz

AgilentN6705C直流电源分析仪：基本电压精度0.025%，纹波测量带宽20MHz

HBMPMX数据放大器：共模抑制比＞140dB@50Hz，增益误差＜0.02%

EspecPL-3KPH温度箱：温变速率15℃/min，均匀度0.5℃@-70℃~180℃

NIPXIe-4499动态信号采集卡：24位分辨率，同步采样率204.8kS/s/ch

TektronixAFG31000函数发生器：输出频率1μHz~120MHz，抖动＜200fsRMS

OMEGADP25B-S压力控制器：控制精度0.05%FS，介质兼容性等级A4