检测项目

温度场均匀性检测：轴向温差≤±1.5℃（1200℃工况），径向梯度≤2℃/cm

加热系统响应速率：升温速率0.5-15℃/min可调，超调量＜设定值的1.5%

冷却系统效能检测：最大冷却速率≥20℃/min（800℃至200℃区间）

真空密封性能：极限真空度≤5×10^-4 Pa，泄漏率＜1×10^-9 Pa·m³/s

机械振动监测：工作状态下振幅≤2μm（频率范围0-200Hz）

功率稳定性测试：输出功率波动≤±0.8%（持续8小时负载测试）

检测范围

半导体材料：单晶硅、砷化镓等III-V族化合物晶锭

高纯金属材料：5N级铝、铜、钛等金属提纯锭

特种合金材料：镍基高温合金、锆合金核材料

无机非金属材料：石英玻璃、蓝宝石晶体

新型功能材料：碲锌镉辐射探测器材料、碳化硅晶圆

检测方法

热场分布测试：依据ASTM E1461-22标准，采用红外热成像与热电偶矩阵复合测量法

真空度检测：执行GB/T 32294-2015《真空技术 漏率测试方法》第四类质谱检漏法

温度控制系统验证：参照ISO 11357-6:2023热分析方法，实施阶梯升温与恒温保持测试

机械性能测试：按GB/T 13301-2020《金属材料 高温均匀性试验方法》进行振动谱分析

电气安全检测：遵循IEC 61010-2-011:2022标准，开展绝缘电阻与接地连续性测试

热循环寿命测试：采用ASTM E967-2021温度校准规范，完成≥2000次冷热冲击循环实验

检测设备

热场分析系统：FLIR T865红外热像仪（测温范围-40℃~1500℃，精度±1℃）

真空检测装置：Pfeiffer HiCube 80 Eco分子泵机组（极限真空5×10^-7 mbar）

数据采集系统：Keysight 34972A多通道数据记录仪（同步采集128路信号）

振动测试平台：Brüel & Kjær 4524-B-001三轴振动传感器（量程0.1-10000m/s²）

热工仪表校准装置：Fluke 9144干式温度校准炉（稳定性±0.05℃）

材料表征设备：Malvern Panalytical Empyrean X射线衍射仪（晶格畸变检测）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与区熔匀化器检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。