检测项目

位移精度（测量范围500mm，分辨率0.001mm）

速度波动率（采样频率10kHz，误差阈值≤0.5%）

加速度变化率（量程0-50m/s，非线性度＜0.1%）

轨迹重复性（三维空间偏差≤0.02mm）

动态响应时间（阶跃信号上升时间≤5ms）

检测范围

六轴工业机器人末端执行器

数控机床主轴进给系统

汽车转向机构传动轴

航空航天伺服作动器

医疗机械臂关节模组

检测方法

ASTMF2920-20工业机器人性能测试标准

ISO9283:2022操作型工业机器人性能规范

GB/T26154-2019装配机器人通用技术条件

ISO230-4:2020机床圆运动测试规范

GB/T17421.4-2016机床精度振动检测方法

检测设备

LeicaAT960激光跟踪仪（空间定位精度15μm+6μm/m）

PolytecPSV-500扫描式激光测振仪（频率范围0-25MHz）

Kistler5073A三向加速度传感器（量程500g，灵敏度10mV/g）

Micro-EpsilonILD2300激光位移传感器（分辨率0.1μm）

NIPXIe-5171R高速采集卡（采样率250MS/s，16bit分辨率）

HexagonAbsoluteArm7轴测量臂（空间精度0.025mm）

KeyenceVHX-7000数字显微镜（5000倍光学放大）

RenishawXL-80激光干涉仪（线性测量精度0.5ppm）

Bruel&Kjaer4524-B三轴振动传感器（频率范围0.3Hz-10kHz）

FLIRX8580红外热像仪（热灵敏度＜18mK@30Hz）