检测项目

1.尺寸精度检测：包括钩体长度公差0.002mm、角度偏差≤0.05、定位孔同轴度≤Φ0.005mm

2.表面粗糙度检测：工作接触面Ra≤0.4μm、非接触面Ra≤1.6μm

3.硬度测试：表面硬度HRC45-50，芯部硬度HV300-350

4.耐腐蚀性测试：5%NaCl溶液盐雾试验48小时无点蚀

5.抗拉强度测试：最小断裂载荷≥800MPa

检测范围

1.半导体晶圆加工设备用钼合金调位钩

2.X射线衍射仪钨铜复合材质调位装置

3.激光切割机陶瓷涂层不锈钢调位组件

4.电子显微镜钛合金微调定位机构

5.光学镀膜设备石英玻璃定位夹具

检测方法

1.ISO1101:2017《产品几何技术规范》尺寸公差测量

2.ASTME18-22《金属材料洛氏硬度标准试验方法》

3.GB/T10125-2021《人造气氛腐蚀试验盐雾试验》

4.ASTME8/E8M-21《金属材料拉伸试验标准试验方法》

5.ISO4287:1997《表面粗糙度术语参数及测量方法》

检测设备

1.MitutoyoCRYSTA-ApexS三坐标测量机（三维尺寸测量）

2.TaylorHobsonFormTalysurfPGI1240表面轮廓仪（纳米级粗糙度分析）

3.Instron5985万能材料试验机（最大载荷100kN拉伸测试）

4.QnessQ60A+显微维氏硬度计（10gf-62.5kgf载荷范围）

5.AscottS450-FOG循环腐蚀试验箱（盐雾/湿热复合测试）

6.OlympusDSX1000数码显微镜（500倍表面缺陷观测）

7.ZygoNewView9000白光干涉仪（亚纳米级形貌分析）

8.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪（残余应力测定）