检测项目

1.曲率半径偏差：测量范围500mm，允许公差0.05mm

2.表面粗糙度：Ra≤0.8μm（镜面级），Rz≤6.3μm（精加工级）

3.轮廓度误差：最大允许偏差0.03mm/m

4.厚度均匀性：公差带0.1mm（光学级玻璃）

5.反射率一致性：波长632.8nm时差异≤2%

检测范围

1.非球面光学透镜（直径20-300mm）

2.汽车覆盖件冲压模具（曲率半径50-2000mm）

3.人工关节置换部件（钴铬合金/陶瓷基材）

4.航空发动机叶片（镍基高温合金）

5.微电子封装模具（钨钢/碳化硅材质）

检测方法

ASTME1779-2016非接触式三维轮廓测量标准

ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定规范

GB/T1800.3-2020产品几何技术规范基本公差标准

ISO25178-2:2022表面纹理区域测量方法

GB/T11337-2004形状和位置公差检测规定

检测设备

1.TaylorHobsonPGI3D轮廓仪：分辨率0.8nm，最大扫描范围Φ200mm

2.MitutoyoCMM-Crysta-ApexS坐标测量机：空间精度(1.9+3L/1000)μm

3.BrukerContourGT-X8白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm

4.ZeissO-INSPECT322复合式测量系统：配备VASTXXT扫描探头

5.KeyenceVR-6000三维扫描仪：单幅测量时间≤0.3s

6.NikonLC60Dx激光跟踪仪：最大测量距离60m，精度15μm+6μm/m

7.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度0.028mm

8.AliconaInfiniteFocusG5焦点变化显微镜：20倍物镜垂直分辨率10nm

9.RenishawREVO五轴测量系统：动态测头响应频率200Hz

10.GOMATOSQ三维扫描仪：蓝光LED光源，双相机分辨率1200万像素