检测项目

1.静态压力保持测试：真空度≤110⁻Pa条件下维持30分钟压升率≤0.5Pa/s

2.氦质谱检漏测试：最小可检漏率≤110⁻mbarL/s（ASTME499标准）

3.热循环气密性测试：-40℃至+150℃温度交变循环20次后泄漏量≤510⁻⁶mbarL/s

4.动态密封性能测试：振动频率20-2000Hz/加速度15g条件下泄漏率增量≤10%

5.气体渗透率测试：氢渗透系数≤110⁻⁴mol/(msPa)（ISO15105-1）

检测范围

1.真空设备：分子泵组、真空镀膜腔体、低温恒温器

2.密封元件：金属波纹管、O型橡胶密封圈、陶瓷-金属封接件

3.电子元件：MEMS封装器件、高功率激光二极管管壳

4.能源装备：燃料电池双极板、锂电池铝塑膜外壳

5.航天部件：卫星推进剂贮箱、空间站舱门密封系统

检测方法

ASTME493-15：采用示踪气体法的静态顶空检漏技术

ISO20486:2017：真空室累积法测定微小泄漏率

GB/T34879-2017：电子器件氦质谱细检操作规程

MIL-STD-750FMethod1071：军用电子元件温度冲击气密试验

GB/T15112-2017：金属波纹管轴向位移密封性试验规范

检测设备

INFICONHLT560：氦质谱检漏仪，灵敏度110⁻mbarL/s

AgilentVSSeries：双通道真空计组（量程110⁻⁹~1000Torr）

LeyboldSP250：磁悬浮分子泵系统（极限真空510⁻⁸mbar）

ThermoScientificTHV-800：三轴振动台（最大加速度100g）

EspecPL-3KPH：快速温变试验箱（变温速率15℃/min）

PfeifferASM340：全量程质谱分析模块（质量数1-200amu）

EdwardsSTP-4503：涡轮分子泵组（抽速450L/s）

MKS925B：高精度压力校准仪（精度0.05%FS）

CincinnatiSub-ZeroZPH-8：多通道渗透率测试系统

Varian979系列：四极杆残余气体分析仪（分辨率0.5amu）