极限真空度检测:10-3~10-5 Pa量级测量,精度±5%
抽气速率测试:0.5~1500 m³/h动态范围控制
泄漏率验证:氦质谱法检测≤1×10-9 Pa·m³/s
耐压强度试验:1.5倍工作压力下保压30分钟
振动噪声分析:加速度≤2.5 m/s²,声压级≤75 dB(A)
类别 | 材料构成 | 典型应用 |
---|---|---|
旋片式前级泵 | 铸铁/铝合金腔体+石墨旋片 | 实验室真空系统 |
罗茨前级泵 | 不锈钢转子+陶瓷涂层 | 半导体制造 |
涡旋式前级泵 | 铝合金动/静涡盘+PTFE密封 | 分析仪器配套 |
干式螺杆泵 | 镍基合金螺杆+聚合物同步齿轮 | 化工流程系统 |
分子增压泵 | 钛合金叶轮+陶瓷轴承 | 高真空镀膜设备 |
ASTM E595-2018
ISO 21360:2019
ISO 1608-1:2020
GB/T 19956.1-2022
IEC 60335-2-69:2021
Agilent UHV-24复合真空计
量程105~10-11 Pa,配备双电离规与皮拉尼复合探头
Leybold UL200氦质谱检漏仪
最小可检漏率5×10-13 Pa·m³/s,支持反氦模式检测
Kurt J.Lesker PMS-2000抽速测试系统
含标准容积法校准模块,流量控制精度±0.8%
Brüel & Kjær 2270振动分析仪
三轴加速度传感,频率范围0.5Hz~20kHz
Thermo Scientific MAX-xrd2805
材料表面镀层厚度及成分分析,分辨率≤5μm
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与前级泵检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。